Opis projektu
Generowanie wysokich harmonicznych w skaningowej mikroskopii o wysokiej rozdzielczości
Mikroskopia wysokich rozdzielczości pozwala na obserwację obiektów poniżej standardowej granicy dyfrakcyjnej rozdzielczości optycznej. Jednak jej zastosowanie w niektórych dyscyplinach nauki i inżynierii jest niepraktyczne, ponieważ opiera się na fluorescencji, która może chemicznie modyfikować próbki podczas znakowania. Wraz z produkcją coraz mniejszych układów scalonych, pojawiają się nowe potrzeby w zakresie kontroli jakości, którym nie są w stanie sprostać współczesne metody metrologiczne oparte na mikroskopii optycznej. Zespół finansowanego ze środków ERBN projektu MICROSEM ma na celu ulepszenie metody generowania wysokich harmonicznych, która omija potrzebę znakowania próbek. Zespół zaprezentuje innowacyjną metrologię w urządzeniu, która osiąga rozdzielczość poniżej 100 nm i może być bezpiecznie stosowane w procesach badania wafli krzemowych.
Cel
Super-resolution microscopy has revolutionized imaging by breaking what was believed to be unbreakable: the diffraction limit which determines what a microscope can resolve. However, many disciplines in science and engineering cannot benefit from super-resolution microscopy, because practically all current super-resolution microscopes require fluorescence, often introduced by labelling that is chemically modifying the samples of interest.
The semiconductor industry is the driver of digitization by producing ever smaller integrated circuits for faster computer chips, and has worldwide importance. The critical dimensions of the latest generation of chips are in the nanometer range, enabled by the breakthrough technology of extreme-ultraviolet nanolithography. An efficient production process requires constant quality inspection of the printed features, either directly on the integrated circuits or on dedicated metrology targets. However, the resolution of current all-optical microscopy-based metrology methods cannot keep pace with the fast development of smaller structures by nanolithography.
Within my ERC Starting Grant, I demonstrated that high-harmonic generation that is the frequency upconversion of laser pulses can be optically suppressed and spatially confined in semiconductors without the need for labelling. This can be utilized as sub-diffraction emission for super-resolution scanning microscopy. I will further develop this technique in MICROSEM in order to reach resolution below 100 nm in a conventional optical microscope operating in the visible and ultraviolet region, without the need of complicated vacuum equipment. This will enable crucial applications for semiconductor wafer metrology. I will demonstrate new in-device metrology, and pave the way for additional advanced at-resolution metrology schemes. To ensure knowledge transfer I enlisted one of the key players in the semiconductor industry as collaborator for MICROSEM.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego.
- nauki przyrodniczenauki fizyczneoptykamikroskopiamikroskopia superrozdzielcza
- nauki przyrodniczenauki fizyczneelektromagnetyzm i elektronikaurządzenie półprzewodnikowe
- nauki przyrodniczenauki fizyczneoptykafizyka laserów
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
- HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC) Main Programme
System finansowania
HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept GrantsInstytucja przyjmująca
3526 KV Utrecht
Niderlandy