Projektbeschreibung
Erzeugung Hoher Harmonischer in der hochauflösenden Rastermikroskopie
Mit der hochauflösenden Rastermikroskopie können Objekte unterhalb der Standardbeugungsgrenze der optischen Auflösung aufgelöst werden. Der Einsatz in bestimmten wissenschaftlichen und technischen Fachbereichen ist jedoch unpraktisch, da er auf Fluoreszenz beruht, die die Proben während der Markierung chemisch verändern kann. Bei der Herstellung immer kleinerer integrierter Schaltkreise für Computerchips in der Halbleiterindustrie ist die erforderliche Qualitätsprüfung durch die derzeitigen Möglichkeiten der auf optischer Mikroskopie basierenden Messmethoden beschränkt. Im Rahmen des ERC-finanzierten Projekts MICROSEM soll die Methode der Erzeugung Hoher Harmonischer verbessert werden, die eine Markierung überflüssig macht. Es wird eine innovative geräteinterne Messtechnik demonstriert, die eine Auflösung von unter 100 nm erreicht und sicher in Anwendungen für die Halbleiter-Wafer-Inspektion eingesetzt werden kann.
Ziel
Super-resolution microscopy has revolutionized imaging by breaking what was believed to be unbreakable: the diffraction limit which determines what a microscope can resolve. However, many disciplines in science and engineering cannot benefit from super-resolution microscopy, because practically all current super-resolution microscopes require fluorescence, often introduced by labelling that is chemically modifying the samples of interest.
The semiconductor industry is the driver of digitization by producing ever smaller integrated circuits for faster computer chips, and has worldwide importance. The critical dimensions of the latest generation of chips are in the nanometer range, enabled by the breakthrough technology of extreme-ultraviolet nanolithography. An efficient production process requires constant quality inspection of the printed features, either directly on the integrated circuits or on dedicated metrology targets. However, the resolution of current all-optical microscopy-based metrology methods cannot keep pace with the fast development of smaller structures by nanolithography.
Within my ERC Starting Grant, I demonstrated that high-harmonic generation that is the frequency upconversion of laser pulses can be optically suppressed and spatially confined in semiconductors without the need for labelling. This can be utilized as sub-diffraction emission for super-resolution scanning microscopy. I will further develop this technique in MICROSEM in order to reach resolution below 100 nm in a conventional optical microscope operating in the visible and ultraviolet region, without the need of complicated vacuum equipment. This will enable crucial applications for semiconductor wafer metrology. I will demonstrate new in-device metrology, and pave the way for additional advanced at-resolution metrology schemes. To ensure knowledge transfer I enlisted one of the key players in the semiconductor industry as collaborator for MICROSEM.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht.
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- NaturwissenschaftenNaturwissenschaftenOptikMikroskopiehochauflösende Mikroskopie
- NaturwissenschaftenNaturwissenschaftenElektromagnetismus und ElektronikHalbleiterbauelement
- NaturwissenschaftenNaturwissenschaftenOptikLaserphysik
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Programm/Programme
- HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC) Main Programme
Thema/Themen
Finanzierungsplan
HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept GrantsGastgebende Einrichtung
3526 KV Utrecht
Niederlande