Objetivo
Nanopatterning is central to advancing semiconductor technologies, enabling sub-7 nm nodes to drive higher device speed, density and performance. Continued downscaling faces critical challenges in lithography and etching, particularly for back-end-of-line interconnects, where achieving sub-20 nm pitch requires innovative solutions to overcome line-edge roughness, misalignment, and defectivity. The JASMIN project proposes a novel integration of Area-Selective Deposition (ASD) and Directional Etching (DE) to improve critical dimension reduction and uniformity at technologically relevant dimensions. ASD leverages surface chemistry to selectively deposit thin films, offering defect mitigation and precise material placement, while DE employs collimated ion beams for controlled, anisotropic material removal and pattern shaping. Their combination provides a pathway to reduce tip-to-tip distances, enhance pattern fidelity and minimize defects. The project is structured into three objectives: 1) fabrication of test structures using DE across different material stacks; 2) development of ASD processes with advanced surface passivation and defect removal strategies; 3) demonstration of pattern transfer and hard mask performance on 300 mm wafers, ensuring integration relevance for industrial applications. Advanced surface characterization and metrology will underpin all stages to control defectivity and optimize processing. Hosted at IMEC, with access to state-of-the-art infrastructure and industrial collaborations, the project will provide the researcher with multidisciplinary training spanning chemistry, materials science, physics, and nanoelectronics. Outcomes will include proof-of-concept demonstration of ASD-DE synergy for sub-10 nm patterning, transferable methodologies for BEOL interconnect fabrication, and enhanced career development of the researcher. JASMIN thus represents a significant step toward overcoming current scaling bottlenecks in semiconductor manufacturing.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ingeniería y tecnología nanotecnología nanoelectrónica
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Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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HORIZON.1.2 - Marie Skłodowska-Curie Actions (MSCA)
PROGRAMA PRINCIPAL
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
HORIZON-TMA-MSCA-PF-EF - HORIZON TMA MSCA Postdoctoral Fellowships - European Fellowships
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Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) HORIZON-MSCA-2025-PF
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Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
3001 Leuven
Bélgica
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.