Objectif
Nanopatterning is central to advancing semiconductor technologies, enabling sub-7 nm nodes to drive higher device speed, density and performance. Continued downscaling faces critical challenges in lithography and etching, particularly for back-end-of-line interconnects, where achieving sub-20 nm pitch requires innovative solutions to overcome line-edge roughness, misalignment, and defectivity. The JASMIN project proposes a novel integration of Area-Selective Deposition (ASD) and Directional Etching (DE) to improve critical dimension reduction and uniformity at technologically relevant dimensions. ASD leverages surface chemistry to selectively deposit thin films, offering defect mitigation and precise material placement, while DE employs collimated ion beams for controlled, anisotropic material removal and pattern shaping. Their combination provides a pathway to reduce tip-to-tip distances, enhance pattern fidelity and minimize defects. The project is structured into three objectives: 1) fabrication of test structures using DE across different material stacks; 2) development of ASD processes with advanced surface passivation and defect removal strategies; 3) demonstration of pattern transfer and hard mask performance on 300 mm wafers, ensuring integration relevance for industrial applications. Advanced surface characterization and metrology will underpin all stages to control defectivity and optimize processing. Hosted at IMEC, with access to state-of-the-art infrastructure and industrial collaborations, the project will provide the researcher with multidisciplinary training spanning chemistry, materials science, physics, and nanoelectronics. Outcomes will include proof-of-concept demonstration of ASD-DE synergy for sub-10 nm patterning, transferable methodologies for BEOL interconnect fabrication, and enhanced career development of the researcher. JASMIN thus represents a significant step toward overcoming current scaling bottlenecks in semiconductor manufacturing.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- ingénierie et technologie nanotechnologie nanoélectronique
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Mots‑clés
Les mots-clés du projet tels qu’indiqués par le coordinateur du projet. À ne pas confondre avec la taxonomie EuroSciVoc (champ scientifique).
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
-
HORIZON.1.2 - Marie Skłodowska-Curie Actions (MSCA)
PROGRAMME PRINCIPAL
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Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
HORIZON-TMA-MSCA-PF-EF - HORIZON TMA MSCA Postdoctoral Fellowships - European Fellowships
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Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
(s’ouvre dans une nouvelle fenêtre) HORIZON-MSCA-2025-PF
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La contribution financière nette de l’UE est la somme d’argent que le participant reçoit, déduite de la contribution de l’UE versée à son tiers lié. Elle prend en compte la répartition de la contribution financière de l’UE entre les bénéficiaires directs du projet et d’autres types de participants, tels que les participants tiers.
3001 Leuven
Belgique
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.