Obiettivo
Nanopatterning is central to advancing semiconductor technologies, enabling sub-7 nm nodes to drive higher device speed, density and performance. Continued downscaling faces critical challenges in lithography and etching, particularly for back-end-of-line interconnects, where achieving sub-20 nm pitch requires innovative solutions to overcome line-edge roughness, misalignment, and defectivity. The JASMIN project proposes a novel integration of Area-Selective Deposition (ASD) and Directional Etching (DE) to improve critical dimension reduction and uniformity at technologically relevant dimensions. ASD leverages surface chemistry to selectively deposit thin films, offering defect mitigation and precise material placement, while DE employs collimated ion beams for controlled, anisotropic material removal and pattern shaping. Their combination provides a pathway to reduce tip-to-tip distances, enhance pattern fidelity and minimize defects. The project is structured into three objectives: 1) fabrication of test structures using DE across different material stacks; 2) development of ASD processes with advanced surface passivation and defect removal strategies; 3) demonstration of pattern transfer and hard mask performance on 300 mm wafers, ensuring integration relevance for industrial applications. Advanced surface characterization and metrology will underpin all stages to control defectivity and optimize processing. Hosted at IMEC, with access to state-of-the-art infrastructure and industrial collaborations, the project will provide the researcher with multidisciplinary training spanning chemistry, materials science, physics, and nanoelectronics. Outcomes will include proof-of-concept demonstration of ASD-DE synergy for sub-10 nm patterning, transferable methodologies for BEOL interconnect fabrication, and enhanced career development of the researcher. JASMIN thus represents a significant step toward overcoming current scaling bottlenecks in semiconductor manufacturing.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- ingegneria e tecnologia nanotecnologia nanoelettronica
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Parole chiave
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Parole chiave del progetto, indicate dal coordinatore del progetto. Da non confondere con la tassonomia EuroSciVoc (campo scientifico).
Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
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HORIZON.1.2 - Marie Skłodowska-Curie Actions (MSCA)
PROGRAMMA PRINCIPALE
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Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
HORIZON-TMA-MSCA-PF-EF - HORIZON TMA MSCA Postdoctoral Fellowships - European Fellowships
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Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
(si apre in una nuova finestra) HORIZON-MSCA-2025-PF
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Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.
3001 Leuven
Belgio
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.