Objetivo
Scanning electron microscopy (SEM) is a cornerstone of semiconductor metrology and inspection, yet it faces a fundamental limitation: it can only image static device structures. Modern semiconductor devices operate at multi-GHz frequencies, and their electrical functionality is typically characterized separately and late in the fabrication chain. This separation complicates the localization of dynamic failure modes and slows the feedback loop between device design and manufacturing. While attempts to introduce time resolution into electron microscopy have been made in academic research, no current technique enables real-time imaging of GHz device operation in a commercial SEM.
Building on advances from our ERC Starting Grant ATTIDA, we propose SEMI-PULSER, a new technique that enables active, in-operando electron-beam metrology in conventional SEM platforms. SEMI-PULSER uses optical modulation of a continuous-wave laser to generate synchronized electron pulses that are phase-locked to the operating frequency of a device under inspection, enabling stroboscopic imaging of time-dependent electric potentials with nanometer spatial resolution and picosecond temporal resolution.
Our Proof-of-Concept project will demonstrate synchronized electron pulse generation in a commercial SEM, validate dynamic voltage contrast imaging on RF test structures and semiconductor devices, and develop a compact module architecture suitable for integration into existing SEM systems. By enabling direct visualization of semiconductor device operation in real time, SEMI-PULSER will introduce a new diagnostic capability for semiconductor metrology, with potential applications in failure analysis, high-frequency electronics, and next generation communication devices.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas óptica microscopía electron microscopy
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias físicas óptica física del láser
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
PROGRAMA PRINCIPAL
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept Grants
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Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) ERC-2026-POC
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Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
32000 Haifa
Israel
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.