Obiettivo
Scanning electron microscopy (SEM) is a cornerstone of semiconductor metrology and inspection, yet it faces a fundamental limitation: it can only image static device structures. Modern semiconductor devices operate at multi-GHz frequencies, and their electrical functionality is typically characterized separately and late in the fabrication chain. This separation complicates the localization of dynamic failure modes and slows the feedback loop between device design and manufacturing. While attempts to introduce time resolution into electron microscopy have been made in academic research, no current technique enables real-time imaging of GHz device operation in a commercial SEM.
Building on advances from our ERC Starting Grant ATTIDA, we propose SEMI-PULSER, a new technique that enables active, in-operando electron-beam metrology in conventional SEM platforms. SEMI-PULSER uses optical modulation of a continuous-wave laser to generate synchronized electron pulses that are phase-locked to the operating frequency of a device under inspection, enabling stroboscopic imaging of time-dependent electric potentials with nanometer spatial resolution and picosecond temporal resolution.
Our Proof-of-Concept project will demonstrate synchronized electron pulse generation in a commercial SEM, validate dynamic voltage contrast imaging on RF test structures and semiconductor devices, and develop a compact module architecture suitable for integration into existing SEM systems. By enabling direct visualization of semiconductor device operation in real time, SEMI-PULSER will introduce a new diagnostic capability for semiconductor metrology, with potential applications in failure analysis, high-frequency electronics, and next generation communication devices.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali scienze fisiche ottica microscopia electron microscopy
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali scienze fisiche ottica fisica dei laser
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
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HORIZON.1.1 - European Research Council (ERC)
PROGRAMMA PRINCIPALE
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Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
HORIZON-ERC-POC - HORIZON ERC Proof of Concept Grants
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Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
(si apre in una nuova finestra) ERC-2026-POC
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Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.
32000 Haifa
Israele
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.