Objectif
MODSYMEL aims to develop a computer-controlled X-ray diffraction system capable of many different structural characterisations of semiconductor crystalline materials. The goal is to provide industry with an instrument for process control and quality checks in industrial conditions. The instrument will be modular, in that the attachments necessary for the different diffraction geometries will be interchangeable and require only minor operations to correct the primary X-ray beam alignment.
An instrument for process control and quality checks in industrial conditions has been developed, which is capable of handling up to 200 mm substrates. Computer aided modelling for the most suitable diffraction geometries has resulted in a versatile instrument concept, satisfying the production level analysis requirements of both silicon and compound semiconductor materials.
The overall instrument has been designed taking into account all the various measurement methods and allowing rapid changes in configuration without the need for time consuming and complex adjustments. Software controlled automated setup will ensure that the instrument is aligned. A sophisticated sample holder has been designed to handle up to 200 mm substrates. The partners have fabricated and tested the monochronometer, collimator and analyser crystals, as well as different beam conditioners. Writing the software for data evaluation is in progress.
The instrument measurement capabilities will include:
- strain evaluation in heteroepitaxial and multilayer structures
- analysis of the interface sharpness of deposited material
- absolute measurements of single-crystal lattice parameters
- depth profiles of lattice disorder
- deformation caused by semiconductor manufacturing processes
- characterisation of thin monocrystalline, polycrystalline and amorphous films down to 10 nm.
Each of these techniques has relevance to the measurement and control of processes at the leading edge of manufacturing.
Several demonstrators will be provided during the course of the project: the computer-controlled diffractometric system, various attachments for multicrystal diffraction, collimator and analyser crystals, and software packages for the collection and simulation of the experimental data.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
- ingénierie et technologie génie mécanique ingénierie de fabrication
- ingénierie et technologie ingénierie des materiaux cristaux
- sciences naturelles informatique et science de l'information logiciel
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles mathématiques mathématiques pures géométrie
Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Données non disponibles
Coordinateur
22926 AHRENSBURG
Allemagne
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.