Obiettivo
MODSYMEL aims to develop a computer-controlled X-ray diffraction system capable of many different structural characterisations of semiconductor crystalline materials. The goal is to provide industry with an instrument for process control and quality checks in industrial conditions. The instrument will be modular, in that the attachments necessary for the different diffraction geometries will be interchangeable and require only minor operations to correct the primary X-ray beam alignment.
An instrument for process control and quality checks in industrial conditions has been developed, which is capable of handling up to 200 mm substrates. Computer aided modelling for the most suitable diffraction geometries has resulted in a versatile instrument concept, satisfying the production level analysis requirements of both silicon and compound semiconductor materials.
The overall instrument has been designed taking into account all the various measurement methods and allowing rapid changes in configuration without the need for time consuming and complex adjustments. Software controlled automated setup will ensure that the instrument is aligned. A sophisticated sample holder has been designed to handle up to 200 mm substrates. The partners have fabricated and tested the monochronometer, collimator and analyser crystals, as well as different beam conditioners. Writing the software for data evaluation is in progress.
The instrument measurement capabilities will include:
- strain evaluation in heteroepitaxial and multilayer structures
- analysis of the interface sharpness of deposited material
- absolute measurements of single-crystal lattice parameters
- depth profiles of lattice disorder
- deformation caused by semiconductor manufacturing processes
- characterisation of thin monocrystalline, polycrystalline and amorphous films down to 10 nm.
Each of these techniques has relevance to the measurement and control of processes at the leading edge of manufacturing.
Several demonstrators will be provided during the course of the project: the computer-controlled diffractometric system, various attachments for multicrystal diffraction, collimator and analyser crystals, and software packages for the collection and simulation of the experimental data.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria meccanica ingegnerizzazione dei prodotti
- ingegneria e tecnologia ingegneria dei materiali cristalli
- scienze naturali informatica e scienze dell'informazione software
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali matematica matematica pura geometria
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Dati non disponibili
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Dati non disponibili
Coordinatore
22926 AHRENSBURG
Germania
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.