Objetivo
The overall objective of the ADAPT project is to develop a complete system solution for CVD liquid monomer handling. This will entail developing equipment for gas delivery and exhaust gas treatment, and diagnostics for monitoring gaseous species within the deposition system and at the exhaust. TEOS-based (tetra-ethyl orthosilicate) oxide deposition will be the main object of study; methods will be established for monitoring and analysing reactions in the gas phase and determining the properties of the deposited film.
A liquid dosing system was designed using an advanced flow controller and innovative delivery method ensuring fast response and repeatability. Experiments with many options for in situ monitoring have led to the selection of infrared absorption spectroscopy as the best candidate for the instrumentation. The design of a gas exhaust system with in situ control and reliable sensors was implemented taking account of the needs of the users. The system employs a combustion chamber as well as downstream scrubber, and can be supplied with a bypass absorber for safety back up. This effluent treatment system, which is capable of removing halocarbons from process exhausts, is of significant importance to the microelectronics industry which now relies on fluorine based plasma processing for its advanced technologies.
Three critical hardware items will be designed and built:
- an advanced liquid dosage system (storage tank, liquid flow controller and evaporator)
- a gas exhaust system
- an optical gas monitor for exhaust gas control.
The advanced processes and CVD tools resulting from the project will be used by the partners in their own deposition systems, and the apparatus developed will be commercialised by the participating SME from the new Bundesländer.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas óptica espectroscopia espectroscopia de absorción
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica halógenos
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica microelectrónica
- ciencias naturales ciencias químicas química orgánica compuestos organohalogenados
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Datos no disponibles
Coordinador
01069 Dresden
Alemania
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.