Objectif
The overall objective of the ADAPT project is to develop a complete system solution for CVD liquid monomer handling. This will entail developing equipment for gas delivery and exhaust gas treatment, and diagnostics for monitoring gaseous species within the deposition system and at the exhaust. TEOS-based (tetra-ethyl orthosilicate) oxide deposition will be the main object of study; methods will be established for monitoring and analysing reactions in the gas phase and determining the properties of the deposited film.
A liquid dosing system was designed using an advanced flow controller and innovative delivery method ensuring fast response and repeatability. Experiments with many options for in situ monitoring have led to the selection of infrared absorption spectroscopy as the best candidate for the instrumentation. The design of a gas exhaust system with in situ control and reliable sensors was implemented taking account of the needs of the users. The system employs a combustion chamber as well as downstream scrubber, and can be supplied with a bypass absorber for safety back up. This effluent treatment system, which is capable of removing halocarbons from process exhausts, is of significant importance to the microelectronics industry which now relies on fluorine based plasma processing for its advanced technologies.
Three critical hardware items will be designed and built:
- an advanced liquid dosage system (storage tank, liquid flow controller and evaporator)
- a gas exhaust system
- an optical gas monitor for exhaust gas control.
The advanced processes and CVD tools resulting from the project will be used by the partners in their own deposition systems, and the apparatus developed will be commercialised by the participating SME from the new Bundesländer.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences physiques optique spectroscopie spectrométrie d’absorption
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique capteurs
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique halogène
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique microélectronique
- sciences naturelles sciences chimiques chimie organique composés organohalogénés
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Données non disponibles
Coordinateur
01069 Dresden
Allemagne
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.