Objetivo
The transcription of CAD data to the physical layer of reticles, masks, or semiconductor substrates is done by postprocessor software that transfers the hierarchical CAD file into a machine format. Existing software explodes the data to a flat file, and with current techniques machine format file sizes extend to gigabytes and processing time stretches into weeks. In addition, as feature sizes become smaller, it is necessary to cope with the proximity effect in order to maintain critical dimensions.
The objective of VIP is to replace existing postprocessors by a product which retains hierarchies during data manipulation. The goal is to process memories (minimum 64 Mbit), ASICs (minimum 500K gate arrays), integrated optics devices and microsensors, building on the experience that one of the contractors has with computer-aided proximity correction. A particularly challenging target is the computation of a 64 Mbit DRAM on a mini-computer in less than 8 hours.
Graphical user interfaces have been defined for all types of software platforms in use, and data input formats obtained for commonly available e-beam writing systems. This tool also enhances data manipulation and improves productivity through the use of macros. Experiments have been conducted to understand the proximity effects when writing small lines, and the results are used to provide intelligent tuning of the proximity correction feature. Work on curve drawing features is being applied to allow writing of integrated optical elements.
Initial trials of the postprocessor data fracturing show huge savings in processor time over existing software. The software is capable of porting to a wide platform range, supporting a large number of e-beam writers.
The VIP postprocessor will be developed in line with the E-beam writers under development in the project FREE (5030). A key aim of VIP is the application of its results in silicon foundries.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software
- ciencias sociales economía y empresa ciencia económica economía de la producción productividad
- ciencias naturales ciencias físicas óptica
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Datos no disponibles
Coordinador
85521 Ottobrunn
Alemania
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.