Ziel
The transcription of CAD data to the physical layer of reticles, masks, or semiconductor substrates is done by postprocessor software that transfers the hierarchical CAD file into a machine format. Existing software explodes the data to a flat file, and with current techniques machine format file sizes extend to gigabytes and processing time stretches into weeks. In addition, as feature sizes become smaller, it is necessary to cope with the proximity effect in order to maintain critical dimensions.
The objective of VIP is to replace existing postprocessors by a product which retains hierarchies during data manipulation. The goal is to process memories (minimum 64 Mbit), ASICs (minimum 500K gate arrays), integrated optics devices and microsensors, building on the experience that one of the contractors has with computer-aided proximity correction. A particularly challenging target is the computation of a 64 Mbit DRAM on a mini-computer in less than 8 hours.
Graphical user interfaces have been defined for all types of software platforms in use, and data input formats obtained for commonly available e-beam writing systems. This tool also enhances data manipulation and improves productivity through the use of macros. Experiments have been conducted to understand the proximity effects when writing small lines, and the results are used to provide intelligent tuning of the proximity correction feature. Work on curve drawing features is being applied to allow writing of integrated optical elements.
Initial trials of the postprocessor data fracturing show huge savings in processor time over existing software. The software is capable of porting to a wide platform range, supporting a large number of e-beam writers.
The VIP postprocessor will be developed in line with the E-beam writers under development in the project FREE (5030). A key aim of VIP is the application of its results in silicon foundries.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Naturwissenschaften Informatik und Informationswissenschaften Software
- Sozialwissenschaften Wirtschaftswissenschaften Wirtschaftswissenschaft Produktionswirtschaft Produktivität
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Optik
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Metalloide
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Daten nicht verfügbar
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Daten nicht verfügbar
Koordinator
85521 Ottobrunn
Deutschland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.