Skip to main content
Ir a la página de inicio de la Comisión Europea (se abrirá en una nueva ventana)
español español
CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
CORDIS
Contenido archivado el 2024-06-18

Dual-channel CMOS for (sub)-22 nm high performance logic

Descripción del proyecto


Next-Generation Nanoelectronics Components and Electronics Integration
Duallogic is to develop a dual-channel below 22 nm CMOS technology comprising high channel mobility Ge pMOS and III-V compound semiconductor nMOS transistors on the same Si substrate

We propose to develop for the first time a dual-channel CMOS technology comprising high channel mobility (high-µ) Ge pMOS and III-V compound semiconductor nMOS transistors co-integrated on the same complex engineered substrate on Si. This offers a high performance booster as an option for the 22 nm technology creating competitive advantage for the European nanoelectronics industry. In addition, high-µ dual channel CMOS could be the main new introduction in sub-22 nm nodes in agreement with the strategic planning of the ENIAC technology platform. The project will develop the full set of FEOL modules from the starting local GeOI substrate to the dual-channel engineered substrate, the high-k/metal gate stacks and the S/D junctions with low resistivity contacts. Our aim is to use surface inversion channels and a self-aligned process with implanted S/D contacts for both III-V and Ge MOSFETs to ensure compatibility with the scaling and operation rules of CMOS. Device modelling and circuit design will assist in selecting the most suitable device architecture. The technology will be validated by the successful co-integration of short channel functional transistors using a 65 nm/200 mm pilot semiconductor processing line. This will allow characterization in terms of mobility at short gate lengths and identification of possible showstoppers associated with the behavior of high-µ channels at nanoscale dimensions. In addition, using toolsets, process flows and know how similar to Si, we aim at demonstrating that the high-µ dual channel technology is scalable and manufacturable without the need for introducing costly and disruptive technologies, thus ensuring the CMOS evolution for next generations. Mobilizing major technology development laboratories in Europe along with leading semiconductor and information technology industry and key semiconductor equipment manufacturers, this project can be a catalyst to the effort for maintaining competence in manufacturing and IP in Europe

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse

Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

FP7-ICT-2007-1
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

CP - Collaborative project (generic)

Coordinador

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
Aportación de la UE
€ 619 344,00
Dirección
END OF PATRIARCHOU GRIGORIOU E AND 27 NEAPOLEOS STREET
15 341 AGIA PARASKEVI
Grecia

Ver en el mapa

Región
Αττική Aττική Βόρειος Τομέας Αθηνών
Tipo de actividad
Research Organisations
Enlaces
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (8)

Mi folleto 0 0