Description du projet
Next-Generation Nanoelectronics Components and Electronics Integration
Duallogic is to develop a dual-channel below 22 nm CMOS technology comprising high channel mobility Ge pMOS and III-V compound semiconductor nMOS transistors on the same Si substrate
We propose to develop for the first time a dual-channel CMOS technology comprising high channel mobility (high-µ) Ge pMOS and III-V compound semiconductor nMOS transistors co-integrated on the same complex engineered substrate on Si. This offers a high performance booster as an option for the 22 nm technology creating competitive advantage for the European nanoelectronics industry. In addition, high-µ dual channel CMOS could be the main new introduction in sub-22 nm nodes in agreement with the strategic planning of the ENIAC technology platform. The project will develop the full set of FEOL modules from the starting local GeOI substrate to the dual-channel engineered substrate, the high-k/metal gate stacks and the S/D junctions with low resistivity contacts. Our aim is to use surface inversion channels and a self-aligned process with implanted S/D contacts for both III-V and Ge MOSFETs to ensure compatibility with the scaling and operation rules of CMOS. Device modelling and circuit design will assist in selecting the most suitable device architecture. The technology will be validated by the successful co-integration of short channel functional transistors using a 65 nm/200 mm pilot semiconductor processing line. This will allow characterization in terms of mobility at short gate lengths and identification of possible showstoppers associated with the behavior of high-µ channels at nanoscale dimensions. In addition, using toolsets, process flows and know how similar to Si, we aim at demonstrating that the high-µ dual channel technology is scalable and manufacturable without the need for introducing costly and disruptive technologies, thus ensuring the CMOS evolution for next generations. Mobilizing major technology development laboratories in Europe along with leading semiconductor and information technology industry and key semiconductor equipment manufacturers, this project can be a catalyst to the effort for maintaining competence in manufacturing and IP in Europe
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
- sciences naturelles sciences physiques électromagnétisme et électronique dispositif à semiconducteur
- sciences naturelles sciences chimiques catalyse
- ingénierie et technologie nanotechnologie nanoélectronique
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
FP7-ICT-2007-1
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Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
15 341 AGIA PARASKEVI
Grèce
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.