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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-06-18

Dual-channel CMOS for (sub)-22 nm high performance logic

Projektbeschreibung


Next-Generation Nanoelectronics Components and Electronics Integration
Duallogic is to develop a dual-channel below 22 nm CMOS technology comprising high channel mobility Ge pMOS and III-V compound semiconductor nMOS transistors on the same Si substrate

We propose to develop for the first time a dual-channel CMOS technology comprising high channel mobility (high-µ) Ge pMOS and III-V compound semiconductor nMOS transistors co-integrated on the same complex engineered substrate on Si. This offers a high performance booster as an option for the 22 nm technology creating competitive advantage for the European nanoelectronics industry. In addition, high-µ dual channel CMOS could be the main new introduction in sub-22 nm nodes in agreement with the strategic planning of the ENIAC technology platform. The project will develop the full set of FEOL modules from the starting local GeOI substrate to the dual-channel engineered substrate, the high-k/metal gate stacks and the S/D junctions with low resistivity contacts. Our aim is to use surface inversion channels and a self-aligned process with implanted S/D contacts for both III-V and Ge MOSFETs to ensure compatibility with the scaling and operation rules of CMOS. Device modelling and circuit design will assist in selecting the most suitable device architecture. The technology will be validated by the successful co-integration of short channel functional transistors using a 65 nm/200 mm pilot semiconductor processing line. This will allow characterization in terms of mobility at short gate lengths and identification of possible showstoppers associated with the behavior of high-µ channels at nanoscale dimensions. In addition, using toolsets, process flows and know how similar to Si, we aim at demonstrating that the high-µ dual channel technology is scalable and manufacturable without the need for introducing costly and disruptive technologies, thus ensuring the CMOS evolution for next generations. Mobilizing major technology development laboratories in Europe along with leading semiconductor and information technology industry and key semiconductor equipment manufacturers, this project can be a catalyst to the effort for maintaining competence in manufacturing and IP in Europe

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

FP7-ICT-2007-1
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CP - Collaborative project (generic)

Koordinator

"NATIONAL CENTER FOR SCIENTIFIC RESEARCH ""DEMOKRITOS"""
EU-Beitrag
€ 619 344,00
Adresse
END OF PATRIARCHOU GRIGORIOU E AND 27 NEAPOLEOS STREET
15 341 AGIA PARASKEVI
Griechenland

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Region
Αττική Aττική Βόρειος Τομέας Αθηνών
Aktivitätstyp
Research Organisations
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (8)

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