Objetivo
In this project, Siemens Semiconductor validates and demonstrates OPTISSIMO on real IC designs. AISS receives feedback for the simulation accuracy, for optimisation and for better understanding of any restrictions in the practical application of OPC. So AISS can increase the usability and obtain the best functionality for industrial use of OPTISSIMO.
The output of the project will be a commercially available software tool, that reflects the practical needs of IC manufacturing. Reports will describe the experiences with OPTISSIMO and deliver information about best practice for application.
For Siemens Semiconductor, this project provides early access to a key technology developed according to the actual needs by an European software company. This opens the possibility for further shrinks of IC design geometries without the investment in next generation lithography tools. For AISS, the cooperation with Siemens provides application results in an industrial environment and a capable and competent partner to guarantee the commercial and technical success of the software package.
The results of the project will be published at international lithography and design conferences, as well as in reports to the EC.
OPTISSIMO is a newly developed software tool from AISS for optical proximity correction and simulation in IC manufacturing. Optical Proximity Correction is a novel technique which extends the practical resolution limits of existing optical lithography equipment by at least one IC generation. OPC modifies the design data of an IC to correct for the diffraction phenomena encountered when printing close to the limits of the optical tool. OPTISSIMO is able to do this modification on the data volume of a whole chip in a reasonable time with sufficient accuracy for state-of-the-art ICs.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales matemáticas matemáticas puras geometría
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software software de aplicación software de simulación
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Coordinador
Muenchen
Alemania
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.