Cel
In this project, Siemens Semiconductor validates and demonstrates OPTISSIMO on real IC designs. AISS receives feedback for the simulation accuracy, for optimisation and for better understanding of any restrictions in the practical application of OPC. So AISS can increase the usability and obtain the best functionality for industrial use of OPTISSIMO.
The output of the project will be a commercially available software tool, that reflects the practical needs of IC manufacturing. Reports will describe the experiences with OPTISSIMO and deliver information about best practice for application.
For Siemens Semiconductor, this project provides early access to a key technology developed according to the actual needs by an European software company. This opens the possibility for further shrinks of IC design geometries without the investment in next generation lithography tools. For AISS, the cooperation with Siemens provides application results in an industrial environment and a capable and competent partner to guarantee the commercial and technical success of the software package.
The results of the project will be published at international lithography and design conferences, as well as in reports to the EC.
OPTISSIMO is a newly developed software tool from AISS for optical proximity correction and simulation in IC manufacturing. Optical Proximity Correction is a novel technique which extends the practical resolution limits of existing optical lithography equipment by at least one IC generation. OPC modifies the design data of an IC to correct for the diffraction phenomena encountered when printing close to the limits of the optical tool. OPTISSIMO is able to do this modification on the data volume of a whole chip in a reasonable time with sufficient accuracy for state-of-the-art ICs.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne elektromagnetyzm i elektronika urządzenie półprzewodnikowe
- nauki przyrodnicze matematyka matematyka czysta geometria
- nauki przyrodnicze informatyka oprogramowanie aplikacje komputerowe oprogramowanie symulacyjne
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Koordynator
Muenchen
Niemcy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.