Obiettivo
In this project, Siemens Semiconductor validates and demonstrates OPTISSIMO on real IC designs. AISS receives feedback for the simulation accuracy, for optimisation and for better understanding of any restrictions in the practical application of OPC. So AISS can increase the usability and obtain the best functionality for industrial use of OPTISSIMO.
The output of the project will be a commercially available software tool, that reflects the practical needs of IC manufacturing. Reports will describe the experiences with OPTISSIMO and deliver information about best practice for application.
For Siemens Semiconductor, this project provides early access to a key technology developed according to the actual needs by an European software company. This opens the possibility for further shrinks of IC design geometries without the investment in next generation lithography tools. For AISS, the cooperation with Siemens provides application results in an industrial environment and a capable and competent partner to guarantee the commercial and technical success of the software package.
The results of the project will be published at international lithography and design conferences, as well as in reports to the EC.
OPTISSIMO is a newly developed software tool from AISS for optical proximity correction and simulation in IC manufacturing. Optical Proximity Correction is a novel technique which extends the practical resolution limits of existing optical lithography equipment by at least one IC generation. OPC modifies the design data of an IC to correct for the diffraction phenomena encountered when printing close to the limits of the optical tool. OPTISSIMO is able to do this modification on the data volume of a whole chip in a reasonable time with sufficient accuracy for state-of-the-art ICs.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
- scienze naturali matematica matematica pura geometria
- scienze naturali informatica e scienze dell'informazione software software applicativi software di simulazione
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
Muenchen
Germania
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.