High volume piezoelectric thin film production process for microsystems

Informations projet

PIEZOVOLUME

N° de convention de subvention: 229196

Projet clôturé

Date de début 1 Janvier 2010

Date de fin 31 Decembre 2012

Financé au titre de

• Specific Programme "Cooperation": Nanosciences, Nanotechnologies, Materials and new Production Technologies

Coût total € 5 140 345,53

Contribution de l’UE € 3 750 000,00

Coordonné par

STIFTELSEN SINTEF
Norway