Ziel
Metrology is essential at any stage of development and production. For conventional industries (e.g. automotive), classical coordinate measuring machines (CMMs) are flexible enough that they can be delivered off the shelf for most development and process control problems. In this project, the "CMM approach" shall be made applicable to micro- and nano-structures too. For this a Nano CMM shall be developed which is capable to measure real 3D (sub-) micrometre structures, including the today not measurable micrometric holes, undercuts, and gaps, all with 50-100nm accuracy.
Pursuing this, a number of technologies are still lacking: probes to localise points on objects with this accuracy; reference objects to calibrate Nano-CMMs; calibration facilities for nano-reference-objects, all 100 times more accurate than nowadays; specifications to purchase and to verify a machine; a means to measure inside holes with sub-micrometer radii, on steep slopes and behind obstructions; a changing capability for the probes; software suitable for feature extraction from measurements with changing probes; rules and standards concerning tolerances of nm features; concepts to find microscopic features (not breaking the probe); stable metrology frames to measure the same object with different probes in one coordinate system; concepts to estimate measurement uncertainties; and a means to inform potential users about the new technologies... this list is the work programme for the project.
The NANO-CMM project team comprises about 1/3 of Europe's nano and micro metrology research community, covering all required disciplines, particularly two manufacturers of Nano CMMs of the first generation (non real 3D ones) plus a group of end-users. This assures to achieve the critical mass to carry out the fundamental research, development, and implementations, and qualify staff through research, and a continuation of networking with partners and others after the project has ended.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
FP6-2004-NMP-NI-4
Andere Projekte für diesen Aufruf anzeigen
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
LEGUTIANO (ALAVA)
Spanien
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Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.
Beteiligte (14)
1853 GOETTINGEN
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EINDHOVEN
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ILMENAU
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ZUYA - ALAVA
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GETXO
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KASSEL
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KVISTGAARD
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20100 AMERSFOORT
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BRAUNSCHWEIG
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EIBAR
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BRNO
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KONGENS LYNGBY
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100565 ILMENAU
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BILBAO
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