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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-06-18

Scanning Neutral Helium Microscopy: A novel tool for fast, nondestuctive characterisation of mechanical parameters for nanostructured coatings

Ziel

The majority of failures in pattern replication processes are caused by wear of forming and forging master tools. Tribology is the science applied for lowering the wear by developing advanced (nanostructured) coatings. However, even these coatings are subject to wear that manifest itself as changes in the mechanical properties of the master tool in the form of fractures, roughness changes (adhesion) or deformation of the 3D shape. Hence a careful examination of the surface structure is essential for validating the functionality of a master tool. Ideally by applying a fast, reliable measurement, which determines the first wear before any faulty replication takes place. No such method exists at present for nanoscale structures: Scanning probe microscopy is generally slow and not suitable for the high aspect ratio structures often present in forming and forging tools. Scanning electron and helium ion microscopy offer alternatives. However both beams penetrate into the material which limits the accuracy, the beam energy can cause surface damage and there may be image distortions due to charging effects. Here we propose a new instrument based on NEUTRAL helium atoms. The technique is strictly surface sensitive with no penetration into the bulk (the atoms interact with the outermost electronic layer on the surface). The energy of the atoms is less than 0.1 eV, 4-6 order of magnitudes less than typical electron and helium ion energies. The new technique can image down to 10 nm and has the potential of being fast and applicable over large areas. We will apply the new technique to access the tool lifetime improvement by the application of nanostructured coatings to micron and nanometer precision master tools from SME partners Kenneth Winther A/S and NILTechnology. Metrology partners DFM and KTH will evaluate the new instrument in relation to ISO-standard parameters with the aim of introducing the technique to the ISO TC213/WG16 committee for future standardization.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

FP7-NMP-2012-SME-6
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Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

CP-TP - Collaborative Project targeted to a special group (such as SMEs)

Koordinator

UNIVERSITETET I BERGEN
EU-Beitrag
€ 901 676,00
Adresse
MUSEPLASSEN 1
5020 Bergen
Norwegen

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Region
Norge Vestlandet Vestland
Aktivitätstyp
Higher or Secondary Education Establishments
Links
Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (7)

Mein Booklet 0 0