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CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
CORDIS
Contenido archivado el 2024-06-18

European 450mm Equipment Demo Line

Objetivo

The aim of the E450EDL project is to continue the engagement of the European semiconductor equipment and materials industry in the 450mm wafer size transition that started with the ENIAC JU EEMI450 initiative and proceeded with subsequent projects funded with public money, amongst others NGC450, SOI450, EEM450PR. The demo line resulting from this project will be such that it will enable first critical process module development by combining imec infrastructure with tools remaining at the site of the manufacturers (distributed pilot line). Multi-site processing will allow partners to participate in the world first 450mm integration studies and will be enabled by the controlled exchange of 450mm wafers between different sites.
The consortium comprises 43 members (from 11 different European countries) with many SMEs and research institutes. The project is organized in five technical work packages and a work package on management and coordination.
In the work package on integration and wafer processing first critical modules will be developed and will demonstrate the feasibility of processing on 450mm wafers.
The main objective in the work package on lithography is to develop a wafer stage test-rig, which can be implemented into the pilot line system.
In the work package on front end equipment several tools will be developed such as a plasma ion implant module, a plasma dry etch module, a RTP system and a single wafer cleaning system.
Furthermore, in the dedicated work package on metrology 450mm metrology tool types will be developed for amongst others dielectric film thickness and composition measurements, defect inspection, defect review and analysis, optical critical dimensions (CD), overlay (mask and wafer) and 3D metrology.
Finally, from the work package on wafer handling and automation a set of equipment will be provided to support the demo line operations, and facilitate the R&D dedicated to process and metrology modules.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

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Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

ENIAC-2012-2
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

JTI-CP-ENIAC - Joint Technology Initiatives - Collaborative Project (ENIAC)

Coordinador

ASML NETHERLANDS B.V.
Aportación de la UE
€ 7 500 000,00
Dirección
DE RUN 6501
5504DR VELDHOVEN
Países Bajos

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Tipo de actividad
Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments)
Enlaces
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (41)

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