Objetivo
Plasma processing technologies are based on radial-assisted ion-induced surface modifications where positive or negative ions accumulate energy within the sheath then strike the surface with certain energies and incidence angles. Due to the limited size of the treated electrodes the sheath is a two or three- dimensional structure. We have demonstrated very recently that the sheath forming to conducting electrodes that interface insulators exhibit very interesting focusing properties including the formation by discrete focusing of a passive surface (no charge impact) and the existence of some modal lines (modal focusing).
This charge kinetics is very attractive because the passive surface correlates the asymptotic distribution of the potential with a step function for the ion flux. The modal focusing effect is very sensitive to small changes in the sheath structure so it can be used to investigate sheath modifications by addition of electronegative gases, dust particles, etc. The aim of this project is to further investigate the phenomenology and propose new applications related to the plasma-sheath-lens focusing effects.
The central idea is that one can get on a small surface a unique pattern resulted by competition between sputtering (and/or) deposition, pattern that can be used as a fingerprint of the entire plasma-sheath-surface system. Our goal is to investigate in detail, by simulation and experiment, using a three- dimensional approach, both the sheath structure and charge-induced surface modifications.
The main aspects targeted include negative ion detection, improvement of ion dose uniformity in plasma immersed ion implantation, estimation of etching yields, ion beam extraction, plasma monitoring, negative sheath and Bohm criterion in multiple ion spices plasmas. We expect to be able to simulate and then realize customized plasma-sheath-lenses that address particular needs related to applications and basic understanding.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
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Palabras clave
Palabras clave del proyecto indicadas por el coordinador del proyecto. No confundir con la taxonomía EuroSciVoc (Ámbito científico).
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
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Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
FP6-2004-MOBILITY-12
Consulte otros proyectos de esta convocatoria
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
IRG - Marie Curie actions-International re-integration grants
Coordinador
KGS. LYNGBY
Dinamarca
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.