Skip to main content
Przejdź do strony domowej Komisji Europejskiej (odnośnik otworzy się w nowym oknie)
polski polski
CORDIS - Wyniki badań wspieranych przez UE
CORDIS
Zawartość zarchiwizowana w dniu 2024-05-29

Phenomenology and applications of three-dimensional plasma-sheath-lenses

Cel

Plasma processing technologies are based on radial-assisted ion-induced surface modifications where positive or negative ions accumulate energy within the sheath then strike the surface with certain energies and incidence angles. Due to the limited size of the treated electrodes the sheath is a two or three- dimensional structure. We have demonstrated very recently that the sheath forming to conducting electrodes that interface insulators exhibit very interesting focusing properties including the formation by discrete focusing of a passive surface (no charge impact) and the existence of some modal lines (modal focusing).

This charge kinetics is very attractive because the passive surface correlates the asymptotic distribution of the potential with a step function for the ion flux. The modal focusing effect is very sensitive to small changes in the sheath structure so it can be used to investigate sheath modifications by addition of electronegative gases, dust particles, etc. The aim of this project is to further investigate the phenomenology and propose new applications related to the plasma-sheath-lens focusing effects.

The central idea is that one can get on a small surface a unique pattern resulted by competition between sputtering (and/or) deposition, pattern that can be used as a fingerprint of the entire plasma-sheath-surface system. Our goal is to investigate in detail, by simulation and experiment, using a three- dimensional approach, both the sheath structure and charge-induced surface modifications.

The main aspects targeted include negative ion detection, improvement of ion dose uniformity in plasma immersed ion implantation, estimation of etching yields, ion beam extraction, plasma monitoring, negative sheath and Bohm criterion in multiple ion spices plasmas. We expect to be able to simulate and then realize customized plasma-sheath-lenses that address particular needs related to applications and basic understanding.

Dziedzina nauki (EuroSciVoc)

Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.

Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować

Słowa kluczowe

Słowa kluczowe dotyczące projektu wybrane przez koordynatora projektu. Nie należy mylić ich z pojęciami z taksonomii EuroSciVoc dotyczącymi dziedzin nauki.

Temat(-y)

Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.

Zaproszenie do składania wniosków

Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.

FP6-2004-MOBILITY-12
Zobacz inne projekty w ramach tego zaproszenia

System finansowania

Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.

IRG - Marie Curie actions-International re-integration grants

Koordynator

DANMARKS TEKNISKE UNIVERSITET (TECHNICAL UNIVERSITY OF DENMARK)
Wkład UE
Brak danych
Koszt całkowity

Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.

Brak danych
Moja broszura 0 0