Objetivo
The goal of the METRICS project was to tackle the major risk elements in the development of a critical dimension (CD) measuring tool, based on electron optics, for the sub-half micron regime.
The goal of the METRICS project was to tackle the major risk elements in the development of a critical dimension (CD) measuring tool, based on electron optics, for the sub-half micron regime.
In the course of the project, all those elements identified as having significant risk have been addressed and suitable solutions developed.
Full automation of all relevant scanning electron microscope (SEM) functions to match fabline requirements have been demonstrated. This included a laser based closed loop control system to control the height of the wafer relative to the objective lens. This eliminates the need manual focussing, and allows constant excitation of the objective lens for maximum reproducibility. New algorithms have been demonstrated that extend the Monte Carlo modelling of electron/matter interaction into the low voltage region with sufficient accuracy to predict physical profiles based on backscattered and secondary electron yield. Metrology software with subpixel interpolation for high precision measurements with maximum ease of use has been developed. Revolutionary detector designs to maximize the yield of those electrons carrying the most information have been demonstrated. A low voltage retarding field emission gun electron column that shows performance well in advance of any known commercial system has been developed.
These achievements will be consolidated into a metrology system that will satisfy the needs of the industry for sub-half micron metrology. However, a number of the project deliverables will be commercialized from their current form.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sistemas de automatización y control
- ciencias sociales sociología relaciones laborales automatización
- ciencias naturales ciencias físicas óptica microscopía electron microscopy
- ciencias naturales ciencias físicas óptica física del láser
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Datos no disponibles
Coordinador
5600 MD EINDHOVEN
Países Bajos
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.