Cel
The goal of the METRICS project was to tackle the major risk elements in the development of a critical dimension (CD) measuring tool, based on electron optics, for the sub-half micron regime.
The goal of the METRICS project was to tackle the major risk elements in the development of a critical dimension (CD) measuring tool, based on electron optics, for the sub-half micron regime.
In the course of the project, all those elements identified as having significant risk have been addressed and suitable solutions developed.
Full automation of all relevant scanning electron microscope (SEM) functions to match fabline requirements have been demonstrated. This included a laser based closed loop control system to control the height of the wafer relative to the objective lens. This eliminates the need manual focussing, and allows constant excitation of the objective lens for maximum reproducibility. New algorithms have been demonstrated that extend the Monte Carlo modelling of electron/matter interaction into the low voltage region with sufficient accuracy to predict physical profiles based on backscattered and secondary electron yield. Metrology software with subpixel interpolation for high precision measurements with maximum ease of use has been developed. Revolutionary detector designs to maximize the yield of those electrons carrying the most information have been demonstrated. A low voltage retarding field emission gun electron column that shows performance well in advance of any known commercial system has been developed.
These achievements will be consolidated into a metrology system that will satisfy the needs of the industry for sub-half micron metrology. However, a number of the project deliverables will be commercialized from their current form.
Dziedzina nauki (EuroSciVoc)
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
Klasyfikacja projektów w serwisie CORDIS opiera się na wielojęzycznej taksonomii EuroSciVoc, obejmującej wszystkie dziedziny nauki, w oparciu o półautomatyczny proces bazujący na technikach przetwarzania języka naturalnego. Więcej informacji: Europejski Słownik Naukowy.
- nauki przyrodnicze informatyka oprogramowanie
- inżynieria i technologia inżynieria elektryczna, inżynieria elektroniczna, inżynieria informatyczna inżynieria elektroniczna automatyka i systemy sterowania
- nauki społeczne socjologia stosunki przemysłowe automatyzacja
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne optyka mikroskopia electron microscopy
- nauki przyrodnicze nauki fizyczne optyka fizyka laserów
Aby użyć tej funkcji, musisz się zalogować lub zarejestrować
Program(-y)
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Wieloletnie programy finansowania, które określają priorytety Unii Europejskiej w obszarach badań naukowych i innowacji.
Temat(-y)
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Brak dostępnych danych
Zaproszenia do składania wniosków dzielą się na tematy. Każdy temat określa wybrany obszar lub wybrane zagadnienie, których powinny dotyczyć wnioski składane przez wnioskodawców. Opis tematu obejmuje jego szczegółowy zakres i oczekiwane oddziaływanie finansowanego projektu.
Zaproszenie do składania wniosków
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
Brak dostępnych danych
Procedura zapraszania wnioskodawców do składania wniosków projektowych w celu uzyskania finansowania ze środków Unii Europejskiej.
System finansowania
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Program finansowania (lub „rodzaj działania”) realizowany w ramach programu o wspólnych cechach. Określa zakres finansowania, stawkę zwrotu kosztów, szczegółowe kryteria oceny kwalifikowalności kosztów w celu ich finansowania oraz stosowanie uproszczonych form rozliczania kosztów, takich jak rozliczanie ryczałtowe.
Brak dostępnych danych
Koordynator
5600 MD EINDHOVEN
Niderlandy
Ogół kosztów poniesionych przez organizację w związku z uczestnictwem w projekcie. Obejmuje koszty bezpośrednie i pośrednie. Kwota stanowi część całkowitego budżetu projektu.