Objectif
Although the margin with regard to other parts of the world is getting smaller, European microsystem technology is still leading and is one of the future economic domains with great potential and impact on almost all areas of technological development. A major reason for this success is the large variety of different microsystem process technologies, as most of the target devices such as MEMS and MOEMS require an application specific fabrication process. To keep and to extend the margin of European microsystem technology the PROMENADE project adds to reproducibility, manageability and time to market issues related to the maintenance of microsystem processes.
Today technology information derived from simulation, tests or measurements is usually kept informally and non-systematically on paper, in Excel sheets or merely in the heads of process engineers and is hence hardly accessible for use in future process development projects. The objectives of the PROMENADE project are to realise a computer-based environment supporting process engineers in creating, verifying, simulating, optimising and maintaining thin film Si processes with predictable characteristics as well as designers of micro devices by offering them a formal interface to constraints from the technological domain and facilitating design for manufacturing.
Special attention will be paid to respect IPR protection issues of users / partners and company specific IPR protection. A major part of the effort will be related to the generation of the simulation environment, implementing the developed empirical and physical models generated by the detailed physical study. Single process step simulations and characterisations as well as simulations of complete process sequences will be available to derive rules forming the foundation for process validation as well as process assessment.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Coordinateur
PE27 5JL ST. IVES
Royaume-Uni
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.