Skip to main content
Weiter zur Homepage der Europäischen Kommission (öffnet in neuem Fenster)
Deutsch de
CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
CORDIS
Inhalt archiviert am 2024-05-29

Process management and design system for microsystem technologies

Ziel

Although the margin with regard to other parts of the world is getting smaller, European microsystem technology is still leading and is one of the future economic domains with great potential and impact on almost all areas of technological development. A major reason for this success is the large variety of different microsystem process technologies, as most of the target devices such as MEMS and MOEMS require an application specific fabrication process. To keep and to extend the margin of European microsystem technology the PROMENADE project adds to reproducibility, manageability and time to market issues related to the maintenance of microsystem processes.

Today technology information derived from simulation, tests or measurements is usually kept informally and non-systematically on paper, in Excel sheets or merely in the heads of process engineers and is hence hardly accessible for use in future process development projects. The objectives of the PROMENADE project are to realise a computer-based environment supporting process engineers in creating, verifying, simulating, optimising and maintaining thin film Si processes with predictable characteristics as well as designers of micro devices by offering them a formal interface to constraints from the technological domain and facilitating design for manufacturing.

Special attention will be paid to respect IPR protection issues of users / partners and company specific IPR protection. A major part of the effort will be related to the generation of the simulation environment, implementing the developed empirical and physical models generated by the detailed physical study. Single process step simulations and characterisations as well as simulations of complete process sequences will be available to derive rules forming the foundation for process validation as well as process assessment.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

Sie müssen sich anmelden oder registrieren, um diese Funktion zu nutzen

Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

STREP - Specific Targeted Research Project

Koordinator

SILVACO DATA SYSTEMS (EUROPE) LIMITED
EU-Beitrag
Keine Daten
Adresse
SILVACO TECHNOLOGY CENTRE, COMPASS POINT
PE27 5JL ST. IVES
Vereinigtes Königreich

Auf der Karte ansehen

Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (6)

Mein Booklet 0 0