Obiettivo
Although the margin with regard to other parts of the world is getting smaller, European microsystem technology is still leading and is one of the future economic domains with great potential and impact on almost all areas of technological development. A major reason for this success is the large variety of different microsystem process technologies, as most of the target devices such as MEMS and MOEMS require an application specific fabrication process. To keep and to extend the margin of European microsystem technology the PROMENADE project adds to reproducibility, manageability and time to market issues related to the maintenance of microsystem processes.
Today technology information derived from simulation, tests or measurements is usually kept informally and non-systematically on paper, in Excel sheets or merely in the heads of process engineers and is hence hardly accessible for use in future process development projects. The objectives of the PROMENADE project are to realise a computer-based environment supporting process engineers in creating, verifying, simulating, optimising and maintaining thin film Si processes with predictable characteristics as well as designers of micro devices by offering them a formal interface to constraints from the technological domain and facilitating design for manufacturing.
Special attention will be paid to respect IPR protection issues of users / partners and company specific IPR protection. A major part of the effort will be related to the generation of the simulation environment, implementing the developed empirical and physical models generated by the detailed physical study. Single process step simulations and characterisations as well as simulations of complete process sequences will be available to derive rules forming the foundation for process validation as well as process assessment.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Dati non disponibili
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Coordinatore
PE27 5JL ST. IVES
Regno Unito
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.