Objetivo
It is widely recognised within the electronics industry that plasma etching will play a vital role in achieving submicron technology, both in silicon and IIIVsemiconductor systems. The objective of this project was to gain a better understanding, by applying suitable diagnostics methods, of the complex chemistry and physics involved in plasma etching so that the knowledge gained could be applied to the manufacture of improved equipment and to process realisation.
The objective of this project was to gain a better understanding, by applying suitable diagnostics methods, of the complex chemistry and physics involved in plasma etching so that the knowledge gained could be applied to the manufacture of improved equipment and to process realisation. The first part of the work was devoted to the development of measurement instrumentation and to equipment setup. In particular, an optical emission spectrometer and a quadrupole mass spectrometer were installed in a reaction chamber in order to detect the chemical species created when the etching reaction takes place. A reactive ion etching process was successfully established for a 0.5 micron structure size.
The first part of the work was devoted to the development of measurement instrumentation and to equipment setup. In particular, an optical emission spectrometer and a quadrupole mass spectrometer were installed in a reaction chamber in order to detect thechemical species created when the etching reaction takes place. A reactive ion etching process was successfully established for a 0.5micron structure size.
Exploitation
The study of the reaction kinetics paves the way for an improved etching process to be designed which can be utilised as a term of reference by other industries because of the widespread research work. Already, as a result of this project, an advanced three-chamber plasma etching machine has been produced by one of the partners. This equipment is capable of processing 200 mm2 wafers with ICs designed with 0.5micron structure size. A prototype was shown at the Produktronika 87Fair in Munich, and commercialisation is expected. However, additional and upto-date etching processes are still needed for full exploitation of the machine's capabilities.
The new optical spectrum analyser (including software) developed by Monolight is undergoing commercialisation.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ciencias naturales informática y ciencias de la información software
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
- ciencias naturales ciencias químicas química inorgánica metaloides
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Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Datos no disponibles
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Datos no disponibles
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Datos no disponibles
Coordinador
14199 Berlin
Alemania
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.