Skip to main content
Ir a la página de inicio de la Comisión Europea (se abrirá en una nueva ventana)
español español
CORDIS - Resultados de investigaciones de la UE
CORDIS
Contenido archivado el 2024-06-18

Computational Lithography for Directed Self-Assembly: Materials, Models and Processes

Descripción del proyecto


Nanoelectronics

Directed self-assembly (DSA) of block copolymers is one of the most promising techniques to enable the continued miniaturization of ICs and to boost the performance in More Moore. It combines top-down photolithography for creation of guiding patterns with engineered new materials and processes to facilitate cost effective bottom-up techniques for pattern density multiplication and defect rectification. An industry scale application of DSA still faces two challenges: i) The host substrate heavily impacts DSA. The resulting pattern formation must be well understood and modeled in order to optimize its efficiency and avoid defects. ii) The specific properties of DSA must be considered early in the design process.CoLiSA.MMP will develop new material and process models and a computational lithography framework for DSA. Existing and new, specially designed atomistic and coarse-grained models will be combined with experimental data to develop and calibrate efficient predictive reduced models, seamlessly integrated in lithographic process simulation. The new modeling capabilities will be used to establish new design flows which include the lithographic generation of guiding patterns and the resulting patterns after DSA. Inversion of the problem will predict lithographically manufacturable guiding patterns and process conditions for given target structures. The extended capabilities of computational lithography will be also used to improve materials and processes which are still under development, to study the root causes of DSA specific defects and to propose strategies to avoid or reduce them.CoLiSA.MMP combines European expertise in soft matter physics, block copolymer chemistry, lithographic process and computational lithography. This will help to bridge the gap between the multifaceted research activities on DSA and the integration of DSA in future processes and design flows for More Moore IC manufacturing and for new functionality in More than Moore.

Ámbito científico (EuroSciVoc)

CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..

Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse

Programa(s)

Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.

Tema(s)

Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.

Convocatoria de propuestas

Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.

FP7-ICT-2013-11
Consulte otros proyectos de esta convocatoria

Régimen de financiación

Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.

CP - Collaborative project (generic)

Coordinador

FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV
Aportación de la UE
Sin datos
Coste total

Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.

Sin datos

Participantes (6)

Mi folleto 0 0