Skip to main content
Vai all'homepage della Commissione europea (si apre in una nuova finestra)
italiano italiano
CORDIS - Risultati della ricerca dell’UE
CORDIS
Contenuto archiviato il 2024-06-18

Computational Lithography for Directed Self-Assembly: Materials, Models and Processes

Descrizione del progetto


Nanoelectronics

Directed self-assembly (DSA) of block copolymers is one of the most promising techniques to enable the continued miniaturization of ICs and to boost the performance in More Moore. It combines top-down photolithography for creation of guiding patterns with engineered new materials and processes to facilitate cost effective bottom-up techniques for pattern density multiplication and defect rectification. An industry scale application of DSA still faces two challenges: i) The host substrate heavily impacts DSA. The resulting pattern formation must be well understood and modeled in order to optimize its efficiency and avoid defects. ii) The specific properties of DSA must be considered early in the design process.CoLiSA.MMP will develop new material and process models and a computational lithography framework for DSA. Existing and new, specially designed atomistic and coarse-grained models will be combined with experimental data to develop and calibrate efficient predictive reduced models, seamlessly integrated in lithographic process simulation. The new modeling capabilities will be used to establish new design flows which include the lithographic generation of guiding patterns and the resulting patterns after DSA. Inversion of the problem will predict lithographically manufacturable guiding patterns and process conditions for given target structures. The extended capabilities of computational lithography will be also used to improve materials and processes which are still under development, to study the root causes of DSA specific defects and to propose strategies to avoid or reduce them.CoLiSA.MMP combines European expertise in soft matter physics, block copolymer chemistry, lithographic process and computational lithography. This will help to bridge the gap between the multifaceted research activities on DSA and the integration of DSA in future processes and design flows for More Moore IC manufacturing and for new functionality in More than Moore.

Campo scientifico (EuroSciVoc)

CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: https://op.europa.eu/it/web/eu-vocabularies/euroscivoc.

È necessario effettuare l’accesso o registrarsi per utilizzare questa funzione

Programma(i)

Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.

Argomento(i)

Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.

Invito a presentare proposte

Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.

FP7-ICT-2013-11
Vedi altri progetti per questo bando

Meccanismo di finanziamento

Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.

CP - Collaborative project (generic)

Coordinatore

FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV
Contributo UE
Nessun dato
Indirizzo
HANSASTRASSE 27C
80686 MUNCHEN
Germania

Mostra sulla mappa

Regione
Bayern Oberbayern München, Kreisfreie Stadt
Tipo di attività
Research Organisations
Collegamenti
Costo totale

I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.

Nessun dato

Partecipanti (6)

Il mio fascicolo 0 0