Atom Probe Tomography (APT) Metrology for future 3D semiconductor devices

Información del proyecto

APT-Met

Identificador del acuerdo de subvención: 660598

DOI 10.3030/660598

Proyecto cerrado

Fecha de la firma de la CE 26 Marzo 2015

Fecha de inicio 1 Agosto 2015

Fecha de finalización 31 Julio 2017

Financiado con arreglo a

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Coste total € 160 800,00

Aportación de la UE € 160 800,00

Coordinado por

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium