Atom Probe Tomography (APT) Metrology for future 3D semiconductor devices

Informacje na temat projektu

APT-Met

Identyfikator umowy o grant: 660598

DOI 10.3030/660598

Projekt zamknięty

Data podpisania przez KE 26 Marca 2015

Data rozpoczęcia 1 Sierpnia 2015

Data zakończenia 31 Lipca 2017

Finansowanie w ramach

• EXCELLENT SCIENCE - Marie Skłodowska-Curie Actions

Koszt całkowity € 160 800,00

Wkład UE € 160 800,00

Koordynowany przez

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium