Objetivo Within the food chain of equipment delivery for the semiconductor industry, Europe has kept a very strong position in the metrology area with many companies establishing themselves as main leaders in the field. Hence in line with the objectives of the ICT25 call for innovation action to overcome the (initial) barriers for the successful commercialization of novel European products, this project aims at exploring for a number of metrology solutions their technological readiness, reliability and relevance of the developed protocols, and the COO. The portfolio within the project covers new metrology concepts addressing specifically the processing challenges linked to 3D-Devices and range from probing basic layer properties (composition, electrical properties) in FEOL to control of metallization in BEOL up to issues linked to die stacking. Due to the specific processing steps which need to be addressed, three separate metrology tools will be assessed in this project i.e a Tofsims system (IonTOF) with build-in Scanning Probe stage and FIB column for true 3D-composition profiling, a completely automated micro-Hall and sheet resistance measurement tool (Capres) with additional capabilities for measurements on dedicated test structures (prior to full BEOL) and an GHz acoustic Microscope (Tepla) for probing voids in TSV’s and stacked dies. As some of them (IonTOf, Capres) are addressing partly complementary information (composition versus electrical properties), their co-existence in this project creates additional value as beyond the tool assessment also a methodology based on combining these concepts can be explored and certified. Moreover a significant efficiency gain is created as they can employ similar test structures and devices. For each of these tools, the basic metrology concepts are existing and validated in the lab on selected applications but their general applicability field within the semiconductor industry still needs to be established Ámbito científico ciencias naturalesciencias físicasópticamicroscopíaciencias naturalesciencias físicasacústicaciencias naturalesciencias físicaselectromagnetismo y electrónicadispositivo semiconductorciencias naturalesciencias físicaselectromagnetismo y electrónicamicroelectrónicaciencias naturalesmatemáticasmatemáticas purasgeometría Programa(s) H2020-EU.2.1.1. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT) Main Programme Tema(s) ICT-25-2015 - Generic micro- and nano-electronic technologies Convocatoria de propuestas H2020-ICT-2015 Consulte otros proyectos de esta convocatoria Régimen de financiación IA - Innovation action Coordinador INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM Aportación neta de la UEn € 1 137 903,75 Dirección Kapeldreef 75 3001 Leuven Bélgica Ver en el mapa Región Vlaams Gewest Prov. Vlaams-Brabant Arr. Leuven Tipo de actividad Research Organisations Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Sitio web Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 0,00 Participantes (9) Ordenar alfabéticamente Ordenar por aportación neta de la UE Ampliar todo Contraer todo COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES Francia Aportación neta de la UEn € 249 221,25 Dirección Rue leblanc 25 75015 Paris Ver en el mapa Región Ile-de-France Ile-de-France Paris Tipo de actividad Research Organisations Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Sitio web Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 0,00 FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV Alemania Aportación neta de la UEn € 246 325,00 Dirección Hansastrasse 27c 80686 Munchen Ver en el mapa Región Bayern Oberbayern München, Kreisfreie Stadt Tipo de actividad Research Organisations Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Sitio web Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 0,00 MATERIALS CENTER LEOBEN FORSCHUNG GMBH Austria Aportación neta de la UEn € 234 136,25 Dirección Roseggerstrasse 12 8700 Leoben Ver en el mapa Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí Región Südösterreich Steiermark Östliche Obersteiermark Tipo de actividad Research Organisations Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Sitio web Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 0,00 DANMARKS TEKNISKE UNIVERSITET Dinamarca Aportación neta de la UEn € 300 473,75 Dirección Anker engelunds vej 101 2800 Kongens lyngby Ver en el mapa Región Danmark Hovedstaden Københavns omegn Tipo de actividad Higher or Secondary Education Establishments Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Sitio web Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 0,00 EIDGENOSSISCHE MATERIALPRUFUNGS- UND FORSCHUNGSANSTALT Suiza Aportación neta de la UEn € 0,00 Dirección Ueberlandstrasse 129 8600 Dubendorf Ver en el mapa Región Schweiz/Suisse/Svizzera Zürich Zürich Tipo de actividad Higher or Secondary Education Establishments Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Sitio web Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 437 503,75 IONTOF TECHNOLOGIES GMBH Alemania Aportación neta de la UEn € 117 600,00 Dirección Heisenbergstrasse 15 48149 Munster Ver en el mapa Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí Región Nordrhein-Westfalen Münster Münster, Kreisfreie Stadt Tipo de actividad Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Sitio web Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 50 400,00 CAPRES AS Dinamarca Aportación neta de la UEn € 301 875,00 Dirección Diplomvej 373 2800 Kgs. lyngby Ver en el mapa Pyme Organización definida por ella misma como pequeña y mediana empresa (pyme) en el momento de la firma del acuerdo de subvención. Sí Región Danmark Hovedstaden Københavns omegn Tipo de actividad Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 129 375,00 PVA TEPLA ANALYTICAL SYSTEMS GMBH Alemania Aportación neta de la UEn € 101 500,00 Dirección Deutschordenstrasse 38 73463 Westhausen Ver en el mapa Región Baden-Württemberg Stuttgart Ostalbkreis Tipo de actividad Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Sitio web Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 43 500,00 LAM RESEARCH BELGIUM Bélgica Aportación neta de la UEn € 0,00 Dirección Kapeldreef 75 3001 Leuven Ver en el mapa Región Vlaams Gewest Prov. Vlaams-Brabant Arr. Leuven Tipo de actividad Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Enlaces Contactar con la organización Opens in new window Participación en los programas de I+D de la UE Opens in new window Red de colaboración de HORIZON Opens in new window Otras fuentes de financiación € 0,00
