Metrology for future 3D-technologies

Información del proyecto

METRO4-3D

Identificador del acuerdo de subvención: 688225

DOI 10.3030/688225

Proyecto cerrado

Fecha de la firma de la CE 25 Noviembre 2015

Fecha de inicio 1 Febrero 2016

Fecha de finalización 31 Enero 2019

Financiado con arreglo a

• INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT)

Coste total € 3 349 813,75

Aportación de la UE € 2 689 035,00

Coordinado por

INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM
Belgium

Resultado final

Documents, reports (5)

Report on organized training on the instrument
Report on dissemination activities
Summary of the access time on the instruments
Report 2 on dissemination activities

Report on dissemination activities

Report documenting the detailed technical specifications of the individual components

Websites, patent fillings, videos etc. (1)

Set-up of the website and strategic board

Publicaciones

Peer reviewed articles (1)

Accretion Detection via Scanning Acoustic Microscopy in Microelectronic Components - Considering Symmetry Breaking Effects

Autores: Eva Grünwald, René Hammer, Jördis Rose, Bernhard Sartory, Roland Brunner
Publicado en: Microscopy and Microanalysis, Edición 23/S1, 2017, Página(s) 1466-1467, ISSN 1431-9276
Editor: Cambridge University Press
DOI: 10.1017/S1431927617007991