Obiettivo Within the food chain of equipment delivery for the semiconductor industry, Europe has kept a very strong position in the metrology area with many companies establishing themselves as main leaders in the field. Hence in line with the objectives of the ICT25 call for innovation action to overcome the (initial) barriers for the successful commercialization of novel European products, this project aims at exploring for a number of metrology solutions their technological readiness, reliability and relevance of the developed protocols, and the COO. The portfolio within the project covers new metrology concepts addressing specifically the processing challenges linked to 3D-Devices and range from probing basic layer properties (composition, electrical properties) in FEOL to control of metallization in BEOL up to issues linked to die stacking. Due to the specific processing steps which need to be addressed, three separate metrology tools will be assessed in this project i.e a Tofsims system (IonTOF) with build-in Scanning Probe stage and FIB column for true 3D-composition profiling, a completely automated micro-Hall and sheet resistance measurement tool (Capres) with additional capabilities for measurements on dedicated test structures (prior to full BEOL) and an GHz acoustic Microscope (Tepla) for probing voids in TSV’s and stacked dies. As some of them (IonTOf, Capres) are addressing partly complementary information (composition versus electrical properties), their co-existence in this project creates additional value as beyond the tool assessment also a methodology based on combining these concepts can be explored and certified. Moreover a significant efficiency gain is created as they can employ similar test structures and devices. For each of these tools, the basic metrology concepts are existing and validated in the lab on selected applications but their general applicability field within the semiconductor industry still needs to be established Campo scientifico scienze naturaliscienze fisicheotticamicroscopiascienze naturaliscienze fisicheacusticascienze naturaliscienze fisicheelettromagnetismo ed elettronicasemiconduttivitàscienze naturaliscienze fisicheelettromagnetismo ed elettronicamicroelettronicascienze naturalimatematicamatematica purageometria Programma(i) H2020-EU.2.1.1. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT) Main Programme Argomento(i) ICT-25-2015 - Generic micro- and nano-electronic technologies Invito a presentare proposte H2020-ICT-2015 Vedi altri progetti per questo bando Meccanismo di finanziamento IA - Innovation action Coordinatore INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELECTRONICA CENTRUM Contribution nette de l'UE € 1 137 903,75 Indirizzo Kapeldreef 75 3001 Leuven Belgio Mostra sulla mappa Regione Vlaams Gewest Prov. Vlaams-Brabant Arr. Leuven Tipo di attività Research Organisations Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 0,00 Partecipanti (9) Classifica in ordine alfabetico Classifica per Contributo netto dell'UE Espandi tutto Riduci tutto COMMISSARIAT A L ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES Francia Contribution nette de l'UE € 249 221,25 Indirizzo Rue leblanc 25 75015 Paris Mostra sulla mappa Regione Ile-de-France Ile-de-France Paris Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 0,00 FRAUNHOFER GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV Germania Contribution nette de l'UE € 246 325,00 Indirizzo Hansastrasse 27c 80686 Munchen Mostra sulla mappa Regione Bayern Oberbayern München, Kreisfreie Stadt Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 0,00 MATERIALS CENTER LEOBEN FORSCHUNG GMBH Austria Contribution nette de l'UE € 234 136,25 Indirizzo Roseggerstrasse 12 8700 Leoben Mostra sulla mappa PMI L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione. Sì Regione Südösterreich Steiermark Östliche Obersteiermark Tipo di attività Research Organisations Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 0,00 DANMARKS TEKNISKE UNIVERSITET Danimarca Contribution nette de l'UE € 300 473,75 Indirizzo Anker engelunds vej 101 2800 Kongens lyngby Mostra sulla mappa Regione Danmark Hovedstaden Københavns omegn Tipo di attività Higher or Secondary Education Establishments Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 0,00 EIDGENOSSISCHE MATERIALPRUFUNGS- UND FORSCHUNGSANSTALT Svizzera Contribution nette de l'UE € 0,00 Indirizzo Ueberlandstrasse 129 8600 Dubendorf Mostra sulla mappa Regione Schweiz/Suisse/Svizzera Zürich Zürich Tipo di attività Higher or Secondary Education Establishments Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 437 503,75 IONTOF TECHNOLOGIES GMBH Germania Contribution nette de l'UE € 117 600,00 Indirizzo Heisenbergstrasse 15 48149 Munster Mostra sulla mappa PMI L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione. Sì Regione Nordrhein-Westfalen Münster Münster, Kreisfreie Stadt Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 50 400,00 CAPRES AS Danimarca Contribution nette de l'UE € 301 875,00 Indirizzo Diplomvej 373 2800 Kgs. lyngby Mostra sulla mappa PMI L’organizzazione si è definita una PMI (piccola e media impresa) al momento della firma dell’accordo di sovvenzione. Sì Regione Danmark Hovedstaden Københavns omegn Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 129 375,00 PVA TEPLA ANALYTICAL SYSTEMS GMBH Germania Contribution nette de l'UE € 101 500,00 Indirizzo Deutschordenstrasse 38 73463 Westhausen Mostra sulla mappa Regione Baden-Württemberg Stuttgart Ostalbkreis Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Sito web Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 43 500,00 LAM RESEARCH BELGIUM Belgio Contribution nette de l'UE € 0,00 Indirizzo Kapeldreef 75 3001 Leuven Mostra sulla mappa Regione Vlaams Gewest Prov. Vlaams-Brabant Arr. Leuven Tipo di attività Private for-profit entities (excluding Higher or Secondary Education Establishments) Collegamenti Contatta l’organizzazione Opens in new window Partecipazione a programmi di R&I dell'UE Opens in new window Rete di collaborazione HORIZON Opens in new window Altri finanziamenti € 0,00
