Objetivo
The TAKE5 project is the next in a chain of thematically connected ENIAC JU KET pilot line projects which are associated with 450mm/300mm development for the 10nm technology node and the ECSEL JU project SeNaTe aiming at the 7nm technology node. The main objective of the TAKE5 project is the demonstration of 5nm patterning in line with the industry needs and the ITRS roadmap in the Advanced Patterning Center at the imec pilot line using innovative design and technology co-optimization, layout and device architecture exploration, and comprising demonstration of a lithographic platform for EUV technology, advanced process and holistic metrology platforms and new materials.
A lithography scanner will be developed based on EUV technology to achieve the 5nm module patterning specification. Metrology platforms need to be qualified for 5nm patterning of 1D, 2D and 3D geometries with the appropriate precision and accuracy. For the 5nm technology modules new materials will need to be introduced. Introduction of these new materials brings challenges for all involved deposition processes and the related equipment set. Next to new deposition processes also the interaction of the involved materials with subsequent etch steps will be studied. The project will be dedicated to find the best options for patterning.
The project relates to the ECSEL work program topic Process technologies – More Moore. It addresses and targets as set out in the MASP at the discovery of new Semiconductor Process, Equipment and Materials solutions for advanced CMOS processes that enable the nano-structuring of electronic devices with 5nm resolution in high-volume manufacturing and fast prototyping. The project touches the core of the continuation of Moore’s law which has celebrated its 50th anniversary and covers all aspects of 5nm patterning development.
Ámbito científico (EuroSciVoc)
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
CORDIS clasifica los proyectos con EuroSciVoc, una taxonomía plurilingüe de ámbitos científicos, mediante un proceso semiautomático basado en técnicas de procesamiento del lenguaje natural. Véas: El vocabulario científico europeo..
- ingeniería y tecnología ingeniería ambiental energía y combustibles energía renovable
- ciencias sociales economía y empresa ciencia económica economía de la producción productividad
- ingeniería y tecnología ingeniería mecánica mecatrónica
- ingeniería y tecnología ingeniería eléctrica, ingeniería electrónica, ingeniería de la información ingeniería electrónica sensores
- ciencias naturales ciencias físicas electromagnetismo y electrónica dispositivo semiconductor
Para utilizar esta función, debe iniciar sesión o registrarse
Le pedimos disculpas, pero se ha producido un error inesperado durante la ejecución.
Necesita estar autentificado. Puede que su sesión haya finalizado.
Gracias por su comentario. En breve recibirá un correo electrónico para confirmar el envío. Si ha seleccionado que se le notifique sobre el estado del informe, también se le contactará cuando el estado del informe cambie.
Programa(s)
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
Programas de financiación plurianuales que definen las prioridades de la UE en materia de investigación e innovación.
-
H2020-EU.2.1.1. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT)
PROGRAMA PRINCIPAL
Ver todos los proyectos financiados en el marco de este programa -
H2020-EU.2.1.1.7. - ECSEL
Ver todos los proyectos financiados en el marco de este programa
Tema(s)
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Las convocatorias de propuestas se dividen en temas. Un tema define una materia o área específica para la que los solicitantes pueden presentar propuestas. La descripción de un tema comprende su alcance específico y la repercusión prevista del proyecto financiado.
Régimen de financiación
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
Régimen de financiación (o «Tipo de acción») dentro de un programa con características comunes. Especifica: el alcance de lo que se financia; el porcentaje de reembolso; los criterios específicos de evaluación para optar a la financiación; y el uso de formas simplificadas de costes como los importes a tanto alzado.
ECSEL-IA - ECSEL Innovation Action
Ver todos los proyectos financiados en el marco de este régimen de financiación
Convocatoria de propuestas
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
Procedimiento para invitar a los solicitantes a presentar propuestas de proyectos con el objetivo de obtener financiación de la UE.
(se abrirá en una nueva ventana) H2020-ECSEL-2015-2-IA-two-stage-Master
Ver todos los proyectos financiados en el marco de esta convocatoriaCoordinador
Aportación financiera neta de la UE. Es la suma de dinero que recibe el participante, deducida la aportación de la UE a su tercero vinculado. Considera la distribución de la aportación financiera de la UE entre los beneficiarios directos del proyecto y otros tipos de participantes, como los terceros participantes.
5504DR VELDHOVEN
Países Bajos
Los costes totales en que ha incurrido esta organización para participar en el proyecto, incluidos los costes directos e indirectos. Este importe es un subconjunto del presupuesto total del proyecto.