Obiettivo
The TAKE5 project is the next in a chain of thematically connected ENIAC JU KET pilot line projects which are associated with 450mm/300mm development for the 10nm technology node and the ECSEL JU project SeNaTe aiming at the 7nm technology node. The main objective of the TAKE5 project is the demonstration of 5nm patterning in line with the industry needs and the ITRS roadmap in the Advanced Patterning Center at the imec pilot line using innovative design and technology co-optimization, layout and device architecture exploration, and comprising demonstration of a lithographic platform for EUV technology, advanced process and holistic metrology platforms and new materials.
A lithography scanner will be developed based on EUV technology to achieve the 5nm module patterning specification. Metrology platforms need to be qualified for 5nm patterning of 1D, 2D and 3D geometries with the appropriate precision and accuracy. For the 5nm technology modules new materials will need to be introduced. Introduction of these new materials brings challenges for all involved deposition processes and the related equipment set. Next to new deposition processes also the interaction of the involved materials with subsequent etch steps will be studied. The project will be dedicated to find the best options for patterning.
The project relates to the ECSEL work program topic Process technologies – More Moore. It addresses and targets as set out in the MASP at the discovery of new Semiconductor Process, Equipment and Materials solutions for advanced CMOS processes that enable the nano-structuring of electronic devices with 5nm resolution in high-volume manufacturing and fast prototyping. The project touches the core of the continuation of Moore’s law which has celebrated its 50th anniversary and covers all aspects of 5nm patterning development.
Campo scientifico (EuroSciVoc)
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
CORDIS classifica i progetti con EuroSciVoc, una tassonomia multilingue dei campi scientifici, attraverso un processo semi-automatico basato su tecniche NLP. Cfr.: Il Vocabolario Scientifico Europeo.
- ingegneria e tecnologia ingegneria ambientale energia e carburanti energia rinnovabile
- scienze sociali economia e commercio scienze economiche economia della produzione produttività
- ingegneria e tecnologia ingegneria meccanica meccatronica
- ingegneria e tecnologia ingegneria elettrica, ingegneria elettronica, ingegneria informatica ingegneria elettronica sensori
- scienze naturali scienze fisiche elettromagnetismo ed elettronica semiconduttività
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Programma(i)
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
Programmi di finanziamento pluriennali che definiscono le priorità dell’UE in materia di ricerca e innovazione.
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H2020-EU.2.1.1. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Information and Communication Technologies (ICT)
PROGRAMMA PRINCIPALE
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H2020-EU.2.1.1.7. - ECSEL
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Argomento(i)
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Gli inviti a presentare proposte sono suddivisi per argomenti. Un argomento definisce un’area o un tema specifico per il quale i candidati possono presentare proposte. La descrizione di un argomento comprende il suo ambito specifico e l’impatto previsto del progetto finanziato.
Meccanismo di finanziamento
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
Meccanismo di finanziamento (o «Tipo di azione») all’interno di un programma con caratteristiche comuni. Specifica: l’ambito di ciò che viene finanziato; il tasso di rimborso; i criteri di valutazione specifici per qualificarsi per il finanziamento; l’uso di forme semplificate di costi come gli importi forfettari.
ECSEL-IA - ECSEL Innovation Action
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Invito a presentare proposte
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
Procedura per invitare i candidati a presentare proposte di progetti, con l’obiettivo di ricevere finanziamenti dall’UE.
(si apre in una nuova finestra) H2020-ECSEL-2015-2-IA-two-stage-Master
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Contributo finanziario netto dell’UE. La somma di denaro che il partecipante riceve, decurtata dal contributo dell’UE alla terza parte collegata. Tiene conto della distribuzione del contributo finanziario dell’UE tra i beneficiari diretti del progetto e altri tipi di partecipanti, come i partecipanti terzi.
5504DR VELDHOVEN
Paesi Bassi
I costi totali sostenuti dall’organizzazione per partecipare al progetto, compresi i costi diretti e indiretti. Questo importo è un sottoinsieme del bilancio complessivo del progetto.