Publicaciones Peer reviewed articles (1) Photonic Damascene Process for Low-Loss, High-Confinement Silicon Nitride Waveguides Autores: Martin Hubert Peter Pfeiffer, Clemens Herkommer, Junqiu Liu, Tiago Morais, Michael Zervas, Michael Geiselmann, Tobias J. Kippenberg Publicado en: IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, Edición 24/4, 2018, Página(s) 1-11, ISSN 1077-260X Editor: Institute of Electrical and Electronics Engineers DOI: 10.1109/JSTQE.2018.2808258 Buscando datos de OpenAIRE... Se ha producido un error en la búsqueda de datos de OpenAIRE No hay resultados disponibles