Pubblicazioni Peer reviewed articles (1) Photonic Damascene Process for Low-Loss, High-Confinement Silicon Nitride Waveguides Autori: Martin Hubert Peter Pfeiffer, Clemens Herkommer, Junqiu Liu, Tiago Morais, Michael Zervas, Michael Geiselmann, Tobias J. Kippenberg Pubblicato in: IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, Numero 24/4, 2018, Pagina/e 1-11, ISSN 1077-260X Editore: Institute of Electrical and Electronics Engineers DOI: 10.1109/JSTQE.2018.2808258 È in corso la ricerca di dati su OpenAIRE... Si è verificato un errore durante la ricerca dei dati su OpenAIRE Nessun risultato disponibile