Ziel
Excillum is an award-winning pioneer in the field of high-end X-ray sources. Hans Hertz and Oscar Hemberg of the Royal Institute of Technology (KTH) in Stockholm, founded Excillum in 2008. Excillum designs, develops and manufactures a high brightness microfocus X-ray source based on Hertz and Hemburg’s invention. This unique patented technology, MetalJet, is the most fundamental advance in X-ray tube technology since the rotating anode was introduced in 1929, as it can reach previously unprecedented X-ray intensities (up to 10x brighter than conventional X-ray tubes).
As an independent X-ray tube supplier, we aim to sell our components to original equipment manufacturers (OEMs) across many sectors. We are following a commercial roadmap to enter sectors where our innovation can add the most value. To date we have sold >50 units (400k€/unit) in the X-ray analytical sector.
We are now targeting the semiconductor sector, specifically metrology (measuring and characterizing tiny structures and materials). The need for metrology in the sector is crucial and directly affects yield, and thus costs. With the 3D nanoscale components used in chips today, current metrology instruments such as optical metrology - (relatively) low resolution, high throughput - and scanning electron microscopes - high resolution, low throughput - are struggling to remain viable.
Industry experts point to CD-SAXS (Critical Dimension Small Angle X-ray Scattering) as the next-generation metrology solution capable of meeting the demands of the sector. However, CD-SAXS is still at the R&D stage because of a lack of a sufficiently bright X-ray source. MetalJet is the only X-ray source that can take CD-SAXS out of the lab. This project will verify our commercial hypotheses and define the activities and resources needed to adapt MetalJet for integration into metrology instruments. We have received expressions of interest from market-leading sector OEMs, like Bruker, and chipmaker Intel, among others.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Optik Mikroskopie electron microscopy
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Halbleiterbauelement
- Technik und Technologie Nanotechnologie Nanoelektronik
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
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H2020-EU.2.1.2. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies – Nanotechnologies
HAUPTPROGRAMM
Alle im Rahmen dieses Programms finanzierten Projekte anzeigen -
H2020-EU.2.1.5. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Advanced manufacturing and processing
Alle im Rahmen dieses Programms finanzierten Projekte anzeigen -
H2020-EU.2.1.3. - INDUSTRIAL LEADERSHIP - Leadership in enabling and industrial technologies - Advanced materials
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H2020-EU.2.3.1. - Mainstreaming SME support, especially through a dedicated instrument
Alle im Rahmen dieses Programms finanzierten Projekte anzeigen
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
SME-1 - SME instrument phase 1
Alle im Rahmen dieses Finanzierungsinstruments finanzierten Projekte anzeigen
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
(öffnet in neuem Fenster) H2020-SMEInst-2016-2017
Alle im Rahmen dieser Aufforderung zur Einreichung von Vorschlägen finanzierten Projekte anzeigenKoordinator
Finanzieller Nettobeitrag der EU. Der Geldbetrag, den der Beteiligte erhält, abzüglich des EU-Beitrags an mit ihm verbundene Dritte. Berücksichtigt die Aufteilung des EU-Finanzbeitrags zwischen den direkten Begünstigten des Projekts und anderen Arten von Beteiligten, wie z. B. Dritten.
164 40 KISTA
Schweden
Die Organisation definierte sich zum Zeitpunkt der Unterzeichnung der Finanzhilfevereinbarung selbst als KMU (Kleine und mittlere Unternehmen).
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.