Ultrapure Water Technology - nanoparticle free water for the advanced nanoelectronics industry enabling further miniaturization of electronic devices

Projektinformationen

ULTRAWAT

ID Finanzhilfevereinbarung: 811908

DOI 10.3030/811908

Projekt abgeschlossen

EK-Unterschriftsdatum 3 August 2018

Startdatum 1 Juli 2018

Enddatum 31 Januar 2021

Finanziert unter

• INDUSTRIAL LEADERSHIP - Innovation In SMEs

Gesamtkosten € 1 855 975,00

EU-Beitrag € 1 299 182,50

Koordiniert durch

XZERO AB
Sweden

Leistungen

Demonstrators, pilots, prototypes (3)

Demonstrator 400 l/h v.02 for evaluation at imec
Final full-scale demonstrator 400l/h

Final full-scale demonstrator 400l/h

Pilot 40 l/h v.01 for evaluation at imec

Open Research Data Pilot (1)

Open Research Data Pilot

Veröffentlichungen

Peer reviewed articles (1)

Experimental investigation and techno-economic analysis of tetramethylammonium hydroxide removal from wastewater in nano-electronics manufacturing via membrane distillation

Autoren: Imtisal-e- Noor, Jan Coenen, Andrew Martin, Olli Dahl, Miriam Åslin
Veröffentlicht in: Journal of Membrane Science, Ausgabe 579, 2019, Seite(n) 283-293, ISSN 0376-7388
Herausgeber: Elsevier BV
DOI: 10.1016/j.memsci.2019.02.067