Projektbeschreibung
Neuartiger Ansatz für die vorlagengestützte selektive Abscheidung
Indiumantimonid hat eine Vielzahl von Anwendungen, zum Beispiel in der Infrarotsensorik, in Majorana-Nullmodus-Geräten und in kryogenen Hochleistungsverstärkern. Vor diesem Hintergrund will das EU-finanzierte Projekt TECNO eine Grundlagentechnologie für auf Indiumantimonid basierende Geräte auf Silizium bereitstellen. Dazu wird es ein neues Verfahren zur vorlagengestützten selektiven Abscheidung einführen und das Halbleiterabscheidungsverfahren durch elektrochemische Verfahren ersetzen. Diese Arbeit wird neue Wege zur Integration von III-V-Halbleitern auf Silizium für die Sensorik und Quanteninformatik fördern. Außerdem wird sie zu einer lösungsbasierten Technologie für die Herstellung hochwertiger Mehrkomponenten-Halbleitermaterialien führen.
Ziel
The overall goal of TECNO is to become an enabling technology for InSb-based devices on Si, which has numerous and wide-ranging applications, such as IR sensing, Majorana zero mode devices, and high-performance cryogenic amplifiers. For this purpose, I propose an innovative approach to template-assisted selective deposition. In the currently implemented integration technology at IBM, I will replace the semiconductor deposition process (MOCVD) by electrochemical methods. This will enable entirely new possibilities of integrating III-V semiconductors on silicon for sensing and quantum computing. TECNO will result in an solution-based technology for the preparation of high-quality multicomponent semiconductor materials and validate the proposed path by demonstrating functional electronic devices on silicon.
The aim of the project is also to significantly expand my knowledge base and therefore amplify the impact of my research as well as my career prospects. TECNO ideally demonstrates the mutual overlap of typically quite separate fields, i.e. chemistry with solid state physics and device engineering. My deep expertise in electrochemistry perfectly matches the requirements of IBMs semiconductor interests and their integration technology. It is truly beneficial for both parties involved. IBM will benefit from my electrochemical solution expertise, while I will learn how to push my work to another level of maturity and impact in an industrial environment.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: https://op.europa.eu/en/web/eu-vocabularies/euroscivoc.
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