IMPROVED TARGET MATERIAL FOR HIGH-YIELD SPUTTERING DEPOSITION OF HIGH QUALITY ITO FILMS WITH LOW RESISTIVITY AND HIGH OPTICAL TRANSMISSION

Informations projet

N° de convention de subvention: BRE20298

Projet clôturé

Date de début 1 Janvier 1993

Date de fin 31 Decembre 1995

Financé au titre de

• Specific programme (EEC) of research and technological development in the field of industrial and materials technologies, 1990-1994

Coût total

Aucune donnée

Contribution de l’UE

€ 1 100 000,00

Coordonné par

Métaleurop Recherche SA
France

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