MICROPUMP BASED ON LIGA AND SILICON TECHNOLOGY

Projektinformationen

MICRO-BLAST

ID Finanzhilfevereinbarung: BRE20596

Projekt abgeschlossen

Startdatum 1 April 1994

Enddatum 31 März 1997

Finanziert unter

• Specific programme (EEC) of research and technological development in the field of industrial and materials technologies, 1990-1994

Gesamtkosten € 0,00

EU-Beitrag € 555 000,00

Koordiniert durch

UNIV TWENTE
Netherlands

Sonstige Dokumente

• Micropump based on LIGA and silicon technology (MICROBLAST)