Ziel
The PACE project has developed an additive, UV-assisted process for the catalysis of electroless plating based upon the use of a photocatalyst whose photoactivity was tailored to the narrow emission band of an excimer lamp source operating in the range of the UV spectrum which is transmissible through air and quartz.
The PACE process has the potential for widespread exploitation in the production of microelectronics and microsystems requiring selective metallisations (for example of copper, nickel, or gold) of a high resolution. While demonstrated for electroless copper plating, the process could be used also for electroless nickel, and with some adaptation for electroless gold plating. The process may also enable selective direct electrolytic plating.
The PACE process avoids the substrate damage associated with laser scribing to define interconnect metallisation patterns on metallised insulators.
The key results of the PACE project are:
* - the PACE process - a photoselective activation process for electroless plating based on a photocatalyst appropriate for use with the 222 nm excimer lamp source
* - development of a new family of photosensitive catalysts for electroless plating
* - development of a high intensity multi-element excimer lamp UV source
* - integration of the multi-element excimer lamp UV source in a contact mask aligner
* - design of an industrial scale large volume synthesis for the chosen photocatalyst
* - a laboratory scale general purpose photoprocessor chamber
High specification metallisation of electrically insulating materials is increasingly required in sensor, multifunctional micro systems, hybrid electronics, optics, and display technologies. Currently, industrial scale selective electroless deposition is limited to the selective plating of metallised areas on already patterned substrates, or the use of laser of ion beam writing processes. Photon processing offers an alternative to physically scribing a pattern on the substrate. The development of the dielectric barrier (silent) discharge excimer lamp has recently provided a technology potentially enabling large area selective electroless metallisation via a photo-induced activation process. In conjunction with the development of ultraviolet (UV) sensitive activation precursors this technology will allow the selective activation of those areas of the substrate where metal is required by selective UV irradiation through a mask. The PACE project is based upon the exploitation of both of these recent advances and will open a route for rapid, high volume, low cost metallisation processing.
The primary objective of the PACE project is the development of a cost-effective process for selective electroless deposition on unpatterned insulating materials utilising a novel UV lamp-assisted activation pre-process.
Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)
CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.
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- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften Katalyse Photokatalyse
- Naturwissenschaften Chemiewissenschaften anorganische Chemie Übergangsmetalle
- Technik und Technologie Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik Elektrotechnik Sensoren
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Elektromagnetismus und Elektronik Mikroelektronik
- Naturwissenschaften Naturwissenschaften Optik Laserphysik
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Programm/Programme
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.
Thema/Themen
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.
Aufforderung zur Vorschlagseinreichung
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Daten nicht verfügbar
Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.
Finanzierungsplan
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.
Koordinator
30 CORK
Irland
Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.