Objectif
The DISCS project has taken three main objectives :
1. to deposit diamond and silicon carbide thin films using a range of CVD technologies;
2. to use advanced manufacturing techniques to process the diamond and silicon carbide films, e.g. using plasmas and ion beams;
3. to fabricate prototype, advanced sensing structures in the carbide thin films.
Diamond films have been deposited using thermal filament and microwave chemical vapour deposition (CVD) technologies. Deposition onto substrates up to 50 mm in diameter has been demonstrated.
In addition multilayer films have been grown of undoped and doped films using boron precursor gases as the dopant carrier. Selected area deposition of the films has also been demonstrated, especially in diamond technology. These results demonstrate that it is sensible to consider the fabrication of sensing structures of doped films.
Downstream processing of the films has demonstrated that it is possible to reactive ion beam etch the structures required to give a very high quality structure definition. Metal contacts to the films have also been formed in order to make an initial assessment of the electrical properties of the as deposited and subsequently machined materials.
The performances of the films at high temperatures is under investigation. Laser Raman, resistivity, capacitance and X-ray measurements have all been undertaken at elevated temperatures. Depending on the technique being used, temperatures up to 850 C have been used to collect data. The results, thus far, indicate that the films are of high quality. There is evidence to suggest that the properties of the films are affected by temperature. However, above a minimum temperature of approximately 350 C, the properties remain stable and reproducible. There is evidence to suggest that this stability is connected with the movement of minority species, such as hydrogen, within the films.
Champ scientifique (EuroSciVoc)
CORDIS classe les projets avec EuroSciVoc, une taxonomie multilingue des domaines scientifiques, grâce à un processus semi-automatique basé sur des techniques TLN. Voir: Le vocabulaire scientifique européen.
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- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique composé inorganique
- ingénierie et technologie ingénierie des materiaux revêtement et films
- ingénierie et technologie génie électrique, génie électronique, génie de l’information ingénierie électronique capteurs
- sciences naturelles sciences chimiques chimie inorganique métalloïde
- sciences naturelles sciences physiques optique physique des lasers
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Programme(s)
Programmes de financement pluriannuels qui définissent les priorités de l’UE en matière de recherche et d’innovation.
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Thème(s)
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Données non disponibles
Les appels à propositions sont divisés en thèmes. Un thème définit un sujet ou un domaine spécifique dans le cadre duquel les candidats peuvent soumettre des propositions. La description d’un thème comprend sa portée spécifique et l’impact attendu du projet financé.
Appel à propositions
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Données non disponibles
Procédure par laquelle les candidats sont invités à soumettre des propositions de projet en vue de bénéficier d’un financement de l’UE.
Régime de financement
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Régime de financement (ou «type d’action») à l’intérieur d’un programme présentant des caractéristiques communes. Le régime de financement précise le champ d’application de ce qui est financé, le taux de remboursement, les critères d’évaluation spécifiques pour bénéficier du financement et les formes simplifiées de couverture des coûts, telles que les montants forfaitaires.
Données non disponibles
Coordinateur
Les coûts totaux encourus par l’organisation concernée pour participer au projet, y compris les coûts directs et indirects. Ce montant est un sous-ensemble du budget global du projet.