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CORDIS - Forschungsergebnisse der EU
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Inhalt archiviert am 2024-04-16

DIAMOND AND SILICON CARBIDE SENSORS

Ziel

The DISCS project has taken three main objectives :

1. to deposit diamond and silicon carbide thin films using a range of CVD technologies;

2. to use advanced manufacturing techniques to process the diamond and silicon carbide films, e.g. using plasmas and ion beams;
3. to fabricate prototype, advanced sensing structures in the carbide thin films.
Diamond films have been deposited using thermal filament and microwave chemical vapour deposition (CVD) technologies. Deposition onto substrates up to 50 mm in diameter has been demonstrated.
In addition multilayer films have been grown of undoped and doped films using boron precursor gases as the dopant carrier. Selected area deposition of the films has also been demonstrated, especially in diamond technology. These results demonstrate that it is sensible to consider the fabrication of sensing structures of doped films.
Downstream processing of the films has demonstrated that it is possible to reactive ion beam etch the structures required to give a very high quality structure definition. Metal contacts to the films have also been formed in order to make an initial assessment of the electrical properties of the as deposited and subsequently machined materials.

The performances of the films at high temperatures is under investigation. Laser Raman, resistivity, capacitance and X-ray measurements have all been undertaken at elevated temperatures. Depending on the technique being used, temperatures up to 850 C have been used to collect data. The results, thus far, indicate that the films are of high quality. There is evidence to suggest that the properties of the films are affected by temperature. However, above a minimum temperature of approximately 350 C, the properties remain stable and reproducible. There is evidence to suggest that this stability is connected with the movement of minority species, such as hydrogen, within the films.

Wissenschaftliches Gebiet (EuroSciVoc)

CORDIS klassifiziert Projekte mit EuroSciVoc, einer mehrsprachigen Taxonomie der Wissenschaftsbereiche, durch einen halbautomatischen Prozess, der auf Verfahren der Verarbeitung natürlicher Sprache beruht. Siehe: Das European Science Vocabulary.

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Programm/Programme

Mehrjährige Finanzierungsprogramme, in denen die Prioritäten der EU für Forschung und Innovation festgelegt sind.

Thema/Themen

Aufforderungen zur Einreichung von Vorschlägen sind nach Themen gegliedert. Ein Thema definiert einen bestimmten Bereich oder ein Gebiet, zu dem Vorschläge eingereicht werden können. Die Beschreibung eines Themas umfasst seinen spezifischen Umfang und die erwarteten Auswirkungen des finanzierten Projekts.

Daten nicht verfügbar

Aufforderung zur Vorschlagseinreichung

Verfahren zur Aufforderung zur Einreichung von Projektvorschlägen mit dem Ziel, eine EU-Finanzierung zu erhalten.

Daten nicht verfügbar

Finanzierungsplan

Finanzierungsregelung (oder „Art der Maßnahme“) innerhalb eines Programms mit gemeinsamen Merkmalen. Sieht folgendes vor: den Umfang der finanzierten Maßnahmen, den Erstattungssatz, spezifische Bewertungskriterien für die Finanzierung und die Verwendung vereinfachter Kostenformen wie Pauschalbeträge.

Daten nicht verfügbar

Koordinator

Not Available
EU-Beitrag
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Gesamtkosten

Die Gesamtkosten, die dieser Organisation durch die Beteiligung am Projekt entstanden sind, einschließlich der direkten und indirekten Kosten. Dieser Betrag ist Teil des Gesamtbudgets des Projekts.

Keine Daten

Beteiligte (9)

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